ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
83
Зависимость
коэффициента
распыления
от
массы
ионов
рабочего
газа
m
1
и
атомов
мишени
m
2
описывается
выражением
где
k –
коэффициент
,
характеризующий
физическое
состояние
мишени
и
определяемый
экспериментально
; λ −
длина
свободного
пробега
ионов
в
мишени
,
зависящая
от
концентрации
атомов
мишени
.
Увеличение
давления
рабочего
газа
в
камере
повышает
вероятность
столкновения
распыленных
атомов
с
молекулами
рабочего
газа
,
в
результате
чего
часть
атомов
рассеивается
в
объеме
или
,
отразившись
от
молекул
рабочего
газа
,
возвращается
обратно
на
мишень
.
Поэтому
увеличение
давления
приводит
к
уменьшению
коэффициента
распыления
.
Об
-
ратное
рассеяние
особенно
существенно
влияет
на
величину
К
р
,
если
масса
распыленных
атомов
меньше
массы
молекул
рабочего
газа
.
На
рис
. 4.6
показана
зависимость
коэффициента
распыления
мишени
из
никеля
от
давления
аргона
в
газораз
-
рядной
камере
.
Видно
,
что
при
небольших
давле
-
ниях
(
на
уровне
1 − 2
Па
)
коэффициент
распыле
-
ния
изменяется
слабо
.
Однако
,
начиная
с
давле
-
ний
примерно
равных
6 − 8
Па
,
коэффициент
распыления
с
увеличением
давления
начинает
резко
падать
.
Зависимость
коэффициента
распыления
от
температуры
,
как
правило
,
не
-
велика
и
носит
сложный
характер
.
Она
определяется
процессами
,
изменяющи
-
ми
структуру
мишени
при
ее
нагреве
.
Если
при
нагреве
мишени
происходит
термический
отжиг
дефектов
,
восстанавливающий
структуру
кристаллической
решетки
,
то
коэффициент
распыления
незначительно
уменьшается
.
Коэффици
-
ент
распыления
может
заметно
измениться
,
если
нагрев
мишени
сопровождает
-
ся
фазовыми
превращениями
(
например
, α-Fe
с
объемоцентрированной
кубиче
-
ской
решеткой
при
температурах
выше
910 °
С
переходит
в
γ-Fe,
имеющее
гра
-
нецентрированную
кубическую
решетку
).
Если
структурных
или
фазовых
из
-
менений
не
происходит
,
то
коэффициент
распыления
остается
постоянным
или
может
незначительно
увеличиваться
при
повышении
температуры
.
Зависимость
коэффициента
распыления
от
угла
падения
носит
немоно
-
тонный
характер
с
максимумом
в
диапазоне
углов
от
30˚
до
60˚.
На
рис
.
4.7
а
в
качестве
примера
приведена
зависимость
K
р
(α)
для
мишени
из
алюминия
,
рас
-
(
)
).(с
1/2
2/3
2
Z
2/3
1
Z
9
104,7
a м
+
−
⋅
=
( )
,
и
E
2
m
1
mλ
2
m
1
m
k
р
К
+
=
Рис.4.6. Зависимость К
р
от
давления аргона в камере
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 81
- 82
- 83
- 84
- 85
- …
- следующая ›
- последняя »
