ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
82
дировки
,
давления
газа
(
при
условии
,
что
давление
не
выходит
за
пределы
,
при
которых
газоразрядная
плазма
гаснет
).
Зависимость
коэффициента
распыления
от
энергии
ионов
,
изображенная
на
рис
. 4.5,
носит
немонотонный
характер
.
Вначале
при
относительно
неболь
-
ших
энергиях
(
менее
100
кэВ
)
с
ростом
энергии
ионов
К
р
увеличивается
,
при
-
чем
зависимость
эта
практически
линейная
.
Затем
рост
К
р
замедляется
,
кривая
К
р
= f(E
и
)
достигает
насыщения
,
и
для
некоторых
материалов
наблюдается
даже
уменьшение
коэффициента
распыления
.
Качественно
характер
такой
зависи
-
мости
можно
объяснить
следующим
образом
.
При
небольших
энергиях
эффективность
процесса
распыле
-
ния
,
характеризующаяся
коэффици
-
ентом
распыления
,
увеличивается
с
ростом
энергии
ионов
,
поскольку
это
приводит
к
увеличению
импульса
,
передаваемого
ионом
атому
мишени
,
а
значит
,
и
к
увеличению
вероятно
-
сти
выбивания
его
из
своего
узла
.
Если
энергия
иона
превышает
некоторое
значение
E
и max
,
то
более
вероятным
становится
процесс
ионной
имплантации
.
Это
означает
,
что
ускоренные
до
больших
энергий
ионы
быстро
проникают
в
приповерхностный
слой
мишени
,
теряя
свою
энергию
за
счет
выбивания
атомов
мишени
из
своих
узлов
.
Однако
процесс
выбивания
атомов
происходит
уже
на
некоторой
глубине
от
поверхно
-
сти
мишени
,
поэтому
значительная
часть
выбитых
атомов
не
может
перейти
из
мишени
в
паровую
фазу
.
В
результате
коэффициент
распыления
падает
с
рос
-
том
энергии
ионов
(
или
остается
постоянным
).
Зависимость
К
р
= f(E
и
),
изображенная
на
рис
. 4.5,
достаточно
хорошо
описывается
выражением
где
коэффициент
К
0
зависит
от
зарядов
ядер
бомбардирующего
иона
Z
1
и
атома
мишени
Z
2
и
периодически
изменяется
с
изменением
Z
2
; N
2
–
концентрация
атомов
мишени
; E
s
–
энергия
сублимации
материала
мишени
.
Нормировочный
коэффициент
F
определяется
значением
E
и max
:
Величина
а
в
формуле
(4.8)
представляет
собой
радиус
экранирования
заряда
ядра
электронами
атомной
оболочки
:
Рис.
4.5. Зависимость коэффициента
распыления К
р
от энергии ионов Е
и
(4.8) ,
max
и
E
и
E
1
max
и
E
и
E
s
FE
2
π
a
2
N
0
К
р
К
+
⋅=
.
max
и
E
0,3
F =
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 80
- 81
- 82
- 83
- 84
- …
- следующая ›
- последняя »
