Неразрушающие методы контроля параметров полупроводниковых материалов и структур. Смирнов В.И. - 19 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

УлГТУ | Ульяновск

Составители: 

Рубрика: 

19
межплоскостное расстояние d в объекте;
- определить межплоскостное расстояние d, если известны длина
волны λ и положение дифракционного максимума φ.
В рентгеноструктурном анализе решается вторая задача – определе-
ние семейства межплоскостных расстояний d, поскольку они полностью
характеризуют конкретный тип кристаллической решетки материала объ-
екта. Обычно она решается на основе схемы рентгеновского дифрактомет-
ра (схема Брэгга
– Брентано). На рис. 2.5 представлена схема дифракто-
метра и примерный вид рентгеновской дифрактограммы. Через F обозна-
чен фокус рентгеновской трубки; S – система входных и выходных щелей;
D – детектор рентгеновского излучения. Детектор вращается со скоростью,
в два раза превышающей угловую скорость вращения объекта. По оси ор-
динат дифрактограммы откладывается интенсивность I рентгеновского
излучения, воспринимаемого детектором; по
оси абсцисс – дифракцион-
ный угол φ.
Источником рентгеновского излучения является рентгеновская труб-
ка, внутри которой создан вакуум и находятся два электрода – анод и ка-
тод. Между электродами прикладывается постоянное напряжение в не-
сколько киловольт. Катод испускает электроны, которые ускоряются до
больших энергий и бомбардируют анод, в результате чего возникают два
типа рентгеновского излучения – тормозное и характеристическое.
Первое
имеет непрерывный спектр и вызвано торможением электронов при соуда-
рении с анодом. Второе имеет дискретный спектр и вызвано выбиванием
электронов с внутренних оболочек атомов анода. На освободившиеся ва-
кантные места переходят электроны с более удаленных от ядра оболочек,
что и вызывает испускание рентгеновских квантов. Длина волны получае-
мого при этом
рентгеновского излучения определяется разностью энергий
уровней, между которыми произошел переход. Поскольку у каждого атома
своя электронная структура, то и длины волн излучения, получаемого в
рентгеновской трубке, полностью определяются материалом анода. Обыч-
Рис. 2.5. Схема рентгеновского дифрактометра (а) и примерный вид дифрактограммы

Страницы