Неразрушающие методы контроля параметров полупроводниковых материалов и структур. Смирнов В.И. - 17 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

вое» изображение любого слоя внутри объекта. Можно масштабировать

изображение слоя, например, увеличить какой-то фрагмент изображения.

Упрощенная структурная схема рентгеновского томографа представ-

лена на рис. 2.3. Излучающая часть содержит рентгеновский излучатель,

формирователь пучка, а также высоковольтный стабилизированный блок

питания, систему охлаждения, компенсаторы и фильтры (на рисунке не

показаны). Требования к источнику

излучения в томографе значительно

жестче, чем в микроскопе, в частности, излучение должно иметь стабиль-

ный спектральный состав и постоянную интенсивность.

Рис. 2.3. Структурная схема рентгеновского томографа: РИ – рентгеновский источник;

ФП – формирователь пучка; КП – комплект преобразователей; МУ – многоканальный

усилитель; ПК – персональный компьютер; МП – механизм точного перемещения

Формирователь пучка создает семейство параллельных лучей, кото-

рые пройдя через объект, попадают на комплект первичных измеритель-

ных преобразователей (до 2000 шт). Наличие формирователя пучка и ком-

плекта преобразователей заменяет сканирование объекта вокруг одной из

координатных осей, что приводит к сокращению времени измерений и по-

вышению точности. Сканирующее устройство в виде механизма

точного

перемещения обеспечивает взаимное перемещение объекта относительно

рентгеновских лучей, причем так, чтобы это перемещение имело строго

постоянную скорость и была возможность получения с помощью специ-

альных датчиков информации о положении объекта.

Сигналы от комплекта преобразователей подводятся к многоканаль-

ному усилителю с противошумовой коррекцией и стабильным коэффици-

ентом усиления. Далее они

оцифровываются с помощью аналого-

цифрового преобразователя и поступают в компьютер.

2.3. Рентгеноструктурный анализ

Рентгеноструктурный анализ является одним из самых распростра-

ненных методов исследования кристаллических твердых тел. С его помо-