Неразрушающие методы контроля параметров полупроводниковых материалов и структур. Смирнов В.И. - 16 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

УлГТУ | Ульяновск

Составители: 

Рубрика: 

16
тектор, будет определяться законом Бугера-Ламберта:
(2.1) ,
dl)z,y,x(
e)B(
0
I)B(I
B
A
где I
0
(B) – интенсивность излучения в точке В при отсутствии объекта;
μ(x,y,z) – линейный коэффициент ослабления, зависящий от координат
внутри объекта. Интегрирование ведется по прямой, соединяющей точки А
и В.
Рис. 2.2. Рентгеновская томография: объект с несколькими дефектами (а): вращение
объекта относительно рентгеновского луча (б)
Прологарифмируем левую и правую части выражения (2.1):
B
A
. dl)z,y,x()B,A(p
)B(I
)B(
0
I
ln
Для различных положений объекта относительно пучка (которые
строго фиксируются) получается множество экспериментальных значений
р(А,В), соответствующих различным значениям координат x, y и z внутри
объекта. С помощью математической обработки, основанной на Фурье-
преобразовании и осуществляемой с помощью компьютера, из экспери-
ментальных значений р(А,В) определяются μ(x,y,z). Данная величина
представляет собой распределение
коэффициента ослабления рентгенов-
ского излучения по объему объекта. Если, например, в окрестности точки с
координатами (x
0
, y
0
, z
0
) будет полость, то значение μ(x
0
, y
0
, z
0
) примерно
будет равно нулю. Если в указанной точке будет находиться какое-то по-
стороннее включение, то в этой точке значение μ(x
0
, y
0
, z
0
) будет резко от-
личаться от значений μ(x,y,z) в соседних точках. Таким образом, величина
μ(x,y,z) несет в себе всю информацию о внутренней структуре объекта.
Можно, например, зафиксировать z=z
0
=const и вывести на экран мо-
нитора двумерный массив μ(x,y). Получим изображение слоя внутри объ-
екта, соответствующего z=z
0
. Можно фиксировать другие координаты или
их линейные комбинации, что дает возможность выводить на экран «тене-

Страницы