Неразрушающие методы контроля параметров полупроводниковых материалов и структур. Смирнов В.И. - 28 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Синхронно со сканированием электронного луча по поверхности

объекта происходит перемещение электронного луча по экрану электрон-

но-лучевой трубки видеоконтрольного устройства (ВКУ). В современных

микроскопах вместо ВКУ используется монитор компьютера, который

также управляет работой блока развертки.

В результате взаимодействия электронов с поверхностью объекта

испускаются вторичные электроны, отражаются падающие первичные

электроны,

испускается рентгеновские кванты и т. д. Специальные детек-

торы электронов или рентгеновских квантов формируют сигнал, величина

которого зависит от количества испускаемых с поверхности объекта элек-

тронов или квантов. Этот сигнал усиливается и поступает на вход ВКУ,

где он модулирует яркость луча на экране. Таким образом, между ярко-

стью луча, перемещающегося по

экрану ВКУ, и количеством электронов

или квантов, испускаемых поверхностью объекта, имеется однозначное

соответствие. Увеличение, получаемое в РЭМ, равно отношению размера

кадра на экране ВКУ к соответствующему размеру кадра на сканируемой

поверхности объекта. Увеличение можно менять в широких пределах.

При этом большие увеличения практически не влияют на глубину резко-

сти, что

положительно отличает электронный микроскоп от его оптическо-

го аналога.

Рис. 3.3. Схема растрового электронного микроскопа