ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
t
1
=
V
S
0
ln
p
0
p
=
3
1
ln
10
5
4.4
≈ 30 (4.135)
Следующий этап откачки – от 4.4 до 0.67 Па – молекулярно-
вязкостный.
Рассчитаем проводимость трубопровода на этом этапе. По-
правочный коэффициент равен ((p
1
):
ξ =
d
η
µ
RT
; (4.136)
ξ =
0.03
18 · 10
−6
28 · 10
−3
8.31 · 300
≈ 5.5 (4.137)
K =
1+ξ
p
1
+p
2
2
1+1.24ξ
p
1
+p
2
2
; (4.138)
p
1
+ p
2
2
=
0.7+4.4
2
≈ 2.5; ξ
p
1
+ p
2
2
=5.5 · 2.5 ≈ 13.7 (4.139)
K =
1+13.7
1+1.24 · 13.7
≈ 0.8 (4.140)
Проводимость трубопровода в вязкостно-молекулярном ре-
жиме тогда равна
U
M−B
= U
B
+0.8U
M
(4.141)
U
M
=1.21 · 10
2
d
3
l
=1.21 · 10
2
(0.03)
3
3
≈ 10
−3
(4.142)
U
B
=1.36 · 10
3
d
4
l
p ≈ 1.36 · 10
3
0.03
4
3
· 2.5 ≈ 10
−3
(4.143)
U
M−B
≈ 1.8U
M
≈ 1.8 · 10
−3
(4.144)
Эффективная быстрота откачки
S
0
=
S
H
U
S
H
+ U
=10
−3
·
1.8
2.8
≈ 6 · 10
−4
(4.145)
Время откачки (с учетом натекания)
t =
V
S
0
ln
p
0
− Q
Σ
/S
0
p − Q
Σ
/S
0
=
3
0.6
ln
4.4 −
2.43·10
−4
6·10
−4
0.7 −
2.43
6
≈ 13 (4.146)
Суммарное время откачки составляет 30+13=43 с.
Таким образом, мы рассмотрели методы откачки газа, раз-
личные типы насосов и приборов, контролирующих давление в
системе. Были рассмотрены физические основы процесса откач-
ки и методы расчета вакуумных систем.
87
V p0 3 105
t1 = ln = ln ≈ 30 (4.135)
S0 p 1 4.4
Следующий этап откачки – от 4.4 до 0.67 Па – молекулярно-
вязкостный.
Рассчитаем проводимость трубопровода на этом этапе. По-
правочный коэффициент равен ((p1 ):
d µ
ξ= ; (4.136)
η RT
0.03 28 · 10−3
ξ= ≈ 5.5 (4.137)
18 · 10−6 8.31 · 300
1 + ξ p1 +p
2
2
K= ; (4.138)
1 + 1.24ξ p1 +p
2
2
p1 + p2 0.7 + 4.4 p1 + p2
= ≈ 2.5; ξ = 5.5 · 2.5 ≈ 13.7 (4.139)
2 2 2
1 + 13.7
K= ≈ 0.8 (4.140)
1 + 1.24 · 13.7
Проводимость трубопровода в вязкостно-молекулярном ре-
жиме тогда равна
UM −B = UB + 0.8UM (4.141)
d3 (0.03)3
UM = 1.21 · 102 = 1.21 · 102 ≈ 10−3 (4.142)
l 3
d4 0.034
UB = 1.36 · 103 p ≈ 1.36 · 103 · 2.5 ≈ 10−3 (4.143)
l 3
UM −B ≈ 1.8UM ≈ 1.8 · 10−3 (4.144)
Эффективная быстрота откачки
SH U 1.8
S0 = = 10−3 · ≈ 6 · 10−4 (4.145)
SH + U 2.8
Время откачки (с учетом натекания)
−4
V p0 − QΣ /S0 3 4.4 − 2.43·10
6·10−4
t= ln
= ln ≈ 13 (4.146)
S0 p − QΣ /S0 0.6 0.7 − 2.43
6
Суммарное время откачки составляет 30+13=43 с.
Таким образом, мы рассмотрели методы откачки газа, раз-
личные типы насосов и приборов, контролирующих давление в
системе. Были рассмотрены физические основы процесса откач-
ки и методы расчета вакуумных систем.
87
