Корпускулярно-фотонные процессы и технологии. Светцов В.И - 163 стр.

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ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

162
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Si3N4,W, Mo, Ti, Ta     #                               "                #                             CF4; Al - CCl4 BCl3.
* !                      "                                                                                          !        ,
         , SiF4. '  &                                                                      -               !        .
                                                                                                              $ "
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