Корпускулярно-фотонные процессы и технологии. Светцов В.И - 164 стр.

              .4.11.                                                           !                         -                                              :             -
                                                                                                                  "                                                 (1-
                                      !       ;2-                                                                     ;3-                                           ;4
-             5               &             !; 5 -                                                       &             !);        -
      !                                      5     &                                       ! (1 -                                                           ; 2 -
        ;3- !                             ;4-      5                                                     ;5-                          !                     ); -
          !                                                                                                 (1 -                          5
          ;2-                                 ;3-              !           ;4-                                                                ;5-
      ;6-                                 )
                                                                                                                  "
                                                          !            !! .                                           !                                         .!
                                                                                           .    (                             !                                 !
!         .           #                       !                        ,       !                !        "#
                                                                                           !         .          ,             .           $                     ,
!             "          .7                                    $           $                                 CF4,
                         #                                     5                           !         "     ,                                    "#                          5
          +           ". * !                                                                      30-300 *      .                                 !
                                                                                                                                                                    2
CF3           F                                       0,3      ,                                  &           !                                  50                     /
                              !                                "!                              ! .           ! 250                             . !
          !           !               "                                                         !     ,
                                                      .                                                       ! !                                           $
              (           !           2                   ).                       $                                                                        ,
                                                          !            .
                                                          !                                          "    .                                             5
                  .                                   10 ! 50                              .!       5      .
                                  #$"                                                                   !! .                                                         !.
                                                                                            10-100 * . *                                                !             ,
      #5                                          ,        !               "                !      "                                                        !
        .                 #               !                        ,           &                                                                            !
                                      $                                                              .
                                                                                                              !                           +             !
          $                               ,                   #5                                 .
                                  !                                                                                       !                         .
                  ,                   .                                                                                                       ! .                       !
    !! .                                                  +                                              .!                   5
                          &                   !            -                           ,                                              $+

                                                                                       163