Корпускулярно-фотонные процессы и технологии. Светцов В.И - 165 стр.

!                                      .*                   !                                               1-10 *                                                       !
                                       $                            !                                  !                           !
                    .                  !                                                  !                $+ ,                            !                   ! ! #
                              .    ,                        $                                 "                !                                                .!
        !                                                           !             .                                                    &
                                                                $                                                              .
                                                                                                                                               .        &
             $                             ,                             !                                                                             . 3                       ,
            $                                                                  !               13,56 %1                                                            !
    #                                                       100                 !                                                                                26 *
!                                                                            ! Si - 195, Si3N4 - 100, SiO2 - 20                                                /  .
4.8.3.                  "" -+45* &* 7*$ 0& # 10*")6                                               /!&$)-
        (                                                                                                                              !
    !                                                           .                             $                                                                     !
        !                -        .!                                                                                                                   !
                              &                ! .
        0 .!                                                                                                                                                    -
"         "                            ,                                              !            $         $                                 .                         -
        &                              ,                                 $                &                                            .               $
                                                                                  ,                                                                    , !           !
                                                                                                                                                                    !
                                               $                &                                                                                      .
                                    !                       "                         !                                                            !                         !
    &                              .!                                                                  ! . . 0 .!                                               !
                                                                         ,            &                                                                 "
        "                 ,                                                                                  !         .
         +                                                                    !                    "
                                                        ,                                                                          &                   !
                         . 7                           +                                                   !                                   #
                                       !                        ,         ! "#                         ! . ,                    "                          !
&                                              !                        $     & ,                       &                      !                   &
!                                 $                    . 8                    " $
                         $                         $                                               ,               !                                       .!
                         $                                  &                 . 3                                          ,
        #                                               &                    500 & .                                                       ,                    .
                                                                                  ! "                                                                           &
            ,              ! "#                                     ! . . * &      ,                                                       &               "
                ,         . &                                             $                                                                                              .
         *                                                              !
        !                     "#                                       " &     ",                                              + "# " 0,3 & .
                                               "#                    !     !                                                                                             "
    ! . . 7                                                                     !                                                                                                ,
     ! "#                                                                     !    "                                       ! . .


                                                                                          164