Получение тонких пленок сложного состава методом испарения и конденсации в вакууме. Юраков Ю.А. - 2 стр.

UptoLike

Составители: 

2
Утверждено научно-методическим советом физического факультета
29 мая 2008 г., протокол 5
Рецензент профессор Е.Н. Бормонтов
Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики твердого
тела и наноструктур физического факультета Воронежского государствен-
ного университета.
Рекомендуется для студентов III курса, дневной формы обучения
Для специальности: 010803 Микроэлектроника и полупроводниковые
приборы