ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
3
Состав испаряемого материала. Проблемы испарения многокомпо-
нентных материалов
Только небольшое число неорганических соединений, сплавов и
смесей испаряются без изменения состава. Обычно составляющие твердо-
го тела имеют различное давление паров при одной температуре. По этой
причине и состав паров и конденсата будет отличаться от состава материа-
ла в испарителе. Такое изменение состава можно предсказать исходя из
термодинамических расчетов. Но в действительности этих данных недос-
таточно для количественного описания процессов испарения. Поэтому для
получения пленок определенного состава пользуются информацией, полу-
ченной экспериментальным путем. В настоящее время разработан ряд экс-
периментальных методов, таких как реактивное испарение, испарение из
двух источников, метод вспышки (дискретное испарение), обеспечиваю-
щих получение пленок, состав которых соответствует испаряемому мате-
риалу независимо от летучести компонентов.
Испарение соединений
Испарение соединений сопровождается диссоциацией, или ассоциа-
цией, или обоими процессами одновременно. Ассоциация не влияет на со-
отношение атомов в парах, тогда как диссоциация обычно сильно влияет,
особенно если один из компонентов является нелетучим. Такой случай со-
ответствует термическому разложению, что исключает получение пленок
испарением из одного испарителя. Осаждение пленок из одного испарите-
ля возможно тогда, когда вещество переходит в пар в виде молекул сте-
хиометрического состава, либо когда продукты обладают одинаковой ле-
тучестью. Если эти условия сохраняются, то говорят о согласованном ис-
парении.
Испарение без диссоциации. Окислы, галогениды
Переход в газовую фазу в этом случае можно описать уравнением
AB(
т,ж)=АВ(г)
, (1)
где т, ж, г обозначают, соответственно, твердое, жидкое и газообразное со-
стояние. В соответствии с этим механизмом испаряется немного соедине-
ний. В качестве примера можно назвать SiO, MgF
2
, B
2
O
3
, CaF
2
, GeO, SnO.
Испарение некоторых из этих соединений сопровождается незначительной
диссоциацией или ассоциацией. Здесь отмечается тенденция к возраста-
нию диссоциации с увеличением температуры испарения и снижением
