Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 30 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

МИРЭА | Москва

Составители: 

Рубрика: 

30
вание упорядоченных наноструктур.
Напряжение U является одним из наиболее важных парамет-
ров, влияющих на упорядоченность наноструктур. Расстояние ме-
жду порами D
int
пропорционально приложенному напряжению, с
коэффициентом пропорциональности 2.5 ≤ k ≤ 2.8 (nm/V).
D
int
= kU. (5)
Тип и концентрацию электролита необходимо подбирать для
данного напряжения для того, чтобы получить рост упорядоченных
наноструктур. Травление алюминия в серной кислоте проводится
при низком напряжении (~40В), в щавелевой кислоте при среднем
(30÷120 В) и в фосфорной кислоте при высоком (80÷200 В). Это
ограничение вызвано электропроводностью и значением pH
электролита. К примеру, если проводить травление алюминия в
серной кислоте при высоком напряжении, то произойдет про-
бой оксидной пленки образца, так как электропроводимость
серной кислоты высока. Значение pH электролита определяет
диаметр пор. Чем меньше pH, тем меньше диаметр пор.
Во время анодирования температура должна быть меньше
комнатной, чтобы избежать растворения формирующегося ок-
сида кислотным электролитом. Например, травление в щавеле-
вой кислоте при напряжении 40В лучше проводить при темпе-
ратуре 5÷18
O
C, а в случае фосфорной кислоты и напряжения
195 В значение температуры травления должно находиться в
пределах 0÷2
0
С.
Еще одной причиной для поддержания минимально воз-
можной температуры является необходимость избежать ло-
кального нагревания дна пор во время процесса анодирования.
Локальный нагрев приводит к возникновению негомогенного
электрического поля, которое в свою очередь приводит к ло-
кальному пробою оксидной пленки. При слишком низкой тем-
пературе электролит может замерзнуть, в этом режиме также
замедляется формирование пор.
В зависимости от условий реакции, в частности, типа
электролита, температуры, электродного потенциала, могут быть
получены два вида анодных пленок. Барьерный тип пленок может
формироваться в полностью нерастворимых электролитах (5 < pH 
                              30

вание упорядоченных наноструктур.
     Напряжение U является одним из наиболее важных парамет-
ров, влияющих на упорядоченность наноструктур. Расстояние ме-
жду порами Dint пропорционально приложенному напряжению, с
коэффициентом пропорциональности 2.5 ≤ k ≤ 2.8 (nm/V).
                          Dint = kU.                        (5)
     Тип и концентрацию электролита необходимо подбирать для
данного напряжения для того, чтобы получить рост упорядоченных
наноструктур. Травление алюминия в серной кислоте проводится
при низком напряжении (~40В), в щавелевой кислоте при среднем
(30÷120 В) и в фосфорной кислоте при высоком (80÷200 В). Это
ограничение вызвано электропроводностью и значением pH
электролита. К примеру, если проводить травление алюминия в
серной кислоте при высоком напряжении, то произойдет про-
бой оксидной пленки образца, так как электропроводимость
серной кислоты высока. Значение pH электролита определяет
диаметр пор. Чем меньше pH, тем меньше диаметр пор.
     Во время анодирования температура должна быть меньше
комнатной, чтобы избежать растворения формирующегося ок-
сида кислотным электролитом. Например, травление в щавеле-
вой кислоте при напряжении 40В лучше проводить при темпе-
ратуре 5÷18OC, а в случае фосфорной кислоты и напряжения
195 В значение температуры травления должно находиться в
пределах 0÷20С.
     Еще одной причиной для поддержания минимально воз-
можной температуры является необходимость избежать ло-
кального нагревания дна пор во время процесса анодирования.
Локальный нагрев приводит к возникновению негомогенного
электрического поля, которое в свою очередь приводит к ло-
кальному пробою оксидной пленки. При слишком низкой тем-
пературе электролит может замерзнуть, в этом режиме также
замедляется формирование пор.
     В зависимости от условий реакции, в частности, типа
электролита, температуры, электродного потенциала, могут быть
получены два вида анодных пленок. Барьерный тип пленок может
формироваться в полностью нерастворимых электролитах (5 < pH

Страницы