Применение гальваномагнитных явлений в полупроводниках для создания приборов и устройств СВЧ диапазона. Антропов В.А - 36 стр.

       Рис. 2.5

       Из рассмотрения, проведённого выше, следует, что в каждом кон-
кретном случае необходимо выбирать тот полупроводниковый материал,
который больше всего подходит для решения конкретной задачи. При выбо-
ре полупроводникового материала для датчиков Холла помимо выше при-
ведённых параметров необходимо учитывать также другие его свойства и
особенности, такие как простота получения, технологичность и возможность
создания хороших невыпрямляющих контактов к датчикам.

       Создание омических контактов на высокоомных материалах пред-
ставляет собой довольно сложную задачу.

      2.3. Технология изготовления кристаллических датчи-
ков Холла.


       2.3.1. Обработка пластины.

       Применяемые обычно для изготовления датчиков Холла полупро-
водниковые материалы (Gе, GаAs,InAs, InSb) получаются в промышленно-
сти в виде крупных кристаллов. Кристаллы разрезаются на тонкие пластин-
ки, перпендикулярные направлению их роста. В случае германия для резки
применяются алмазные дисковые пилы, представляющие собой латунный
диск, в края которого впрессована алмазная крошка. В случае антимонида и

                                                                        36