Распределения внедренных примесей с учетом эффекта каналирования. Асессоров В.В - 1 стр.

UptoLike

Рубрика: 

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
ВОРОНЕЖСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
Распределения внедренных примесей
с учетом эффекта каналирования
Пособие для студентов
(специальность 014100 "Микроэлектроника
и полупроводниковые приборы ")
Воронеж
2004
М И Н И СТ Е РСТ В О О БРА ЗО В А Н И Я РО ССИ Й СК О Й Ф Е Д Е РА Ц И И
    В О РО Н Е Ж СК И Й ГО СУ Д А РСТ В Е Н Н Ы Й У Н И В Е РСИ Т Е Т




              Р аспр е де л е н и я вн е др е н н ы х пр и м е се й
                 с уче то м эффе кта кан ал и р о ван и я

                     Пособиед ля студ ентов
           (специальность014100 "М икроэлектроника
                и полупровод никовы еприборы ")




                                  В оронеж
                                     2004