Распределения внедренных примесей с учетом эффекта каналирования. Асессоров В.В - 5 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

5
будет больше исходной дозы имплантации Q .
Для устранения этого недостатка можно провести нормировку
распределения (1) на дозу имплантации. В этом случае, определив
нормирующий коэффициент S= Q/Q', необходимо умножить все значения
концентрации N′ (x) на S, т.е.
N''(x)=S⋅ N'(x).
Рис. 1. Распределение ионно-имплантированной примеси
в разориентированной кристаллической мишени
(распределение Пирсон-4) с учетом эффекта каналирования .
Таблица 1
Значения параметров λ и
F
*
Тип примеси
Доза, см
− 2
бор
λ
=0,045 мкм
фосфор
λ
=0,067 мкм
мышьяк
λ
= 0,022 мкм
<
10
13
2,0 5 2,0
10
13
2,3 17 2,3
5
10
13
⋅
2,6 40 5,0
10
14
6,0 44 5,3
5
10
14
⋅
10,2 51 12,4
10
15
12,5 55 16,7
5
10
15
⋅
13,0 62 20,0
10
16
14,3 71 33,0
5
10
16
⋅
21,0 150 42,3
2. Распределение ионно-имплантированных примесей
в однородной разориентированной мишени в приближении двух
параметров (неусеченная гауссиана) с учетом эффекта каналирования
При облучении разориентированной кристаллической мишени
моноэнергетическим пучком ионов с начальной энергией E распределение
Экспоненциальный
“хвост” 
                                                5

буд етбольш еисх од ной д озы им плантации Q.
      Д ля устранения этого нед остатка м ож но провести нормировку
распред еления (1) на д озу им плантации. В этом случае, опред елив
норм ирую щ ий коэф ф ициентS= Q/Q', необх од имо ум нож ить все значения
концентрации N′(x) на S, т.е.
                                  N''(x)=S⋅ N'(x).


                                                        Э кспоненциальны й
                                                        “х вост”




             Рис. 1. Распред елениеионно-им плантированной прим еси
                 вразориентированной кристаллической м иш ени
           (распред елениеПирсон-4) сучетом эф ф екта каналирования.

                                                                                    Т аблица 1
                              Значения парам етровλ и F         *




                                                         Т ип прим еси

                      −2             бор                ф осф ор             м ы ш ьяк
          Д оза, см
                                 λ=0,045 м км         λ=0,067 м км         λ=0,022 м км
              < 1013                  2,0                   5                    2,0
               1013                   2,3                  17                    2,3
              5 ⋅1013                 2,6                  40                    5,0
               1014                   6,0                  44                    5,3
              5 ⋅1014                10,2                  51                   12,4
               1015                  12,5                  55                   16,7
              5 ⋅1015                13,0                  62                   20,0
               1016                  14,3                  71                   33,0
              5 ⋅1016                21,0                 150                   42,3



            2. Р аспр е де л е н и е и о н н о -и м пл ан ти р о ван н ы х пр и м е се й
    в о дн о р о дн о й р аз  о р и е н ти р о ван н о й м и ше н и в пр и бл и же н и и двух
  пар ам е тр о в (н е усе че н н ая гаусси ан а) с уче то м эффе кта кан ал и р о ван и я

      При облучении разориентированной       кристаллической  м иш ени
м оноэнергетическим пучком ионов с начальной энергией E распред еление

Страницы