Распределения внедренных примесей с учетом эффекта каналирования. Асессоров В.В - 7 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

7
ucxP
PPj
NR
Q
RRx
∆
⋅∆+=
′
π 2
ln2
2
. (6)
Если N
ucx
<N′(R
0
), то глубина залегания
2j
x
′
′
второго p-n перехода
находится из условия
2//
020
2
()
expexp0
2
2
pj
ucx
P
P
RRxR
Q
N
R
R
λ
π

−−
⋅−⋅−−=


∆
∆

,
то есть
2
0
2
//
20
()
exp
2
ln
2
p
P
j
Pucx
RR
Q
R
xR
RN
λ
π

−
−


∆

=+
∆
. (7)
Рис. 2. Распределение ионно-имплантированной примеси
в разориентированной кристаллической мишени
(неусеченная гауссиана) с учетом эффекта каналирования.
а) б)
Рис. 3. К определению глубин залегания p-n переходов:
а) - при N
ucx
≥ N′(R
0
); б) - при N
ucx
<N′(R
0
).
N΄ (x)
N΄(R
m
)
N΄ (R
0
)
m
0
x
N΄ (R
0
)
N
исх
N΄ (x)
x
j2
x
j1
x
x
N΄ (x)
x
j2
x
j1
N
исх
N΄(R
0
) 
                                                                7

                                                                               Q
                                          x ′j 2 = R P + ∆ R P 2 ⋅ ln                      .                        (6)
                                                                           2π ∆R P N ucx


       Е сли Nucx

Страницы