Распределения внедренных примесей с учетом эффекта каналирования. Асессоров В.В - 9 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

9
02
.
10
7
4
.
10
7
6
.
10
7
1
.
10
14
1
.
10
15
1
.
10
16
1
.
10
17
1
.
10
18
1
.
10
19
x, m
N, cm-3
Рис. 4. График суммарной концентрации при внедрении ионов фосфора
с энергией 100 кэВ и дозой 10
14
см
-2
в подложку марки КДБ4.
2. По данным таблицы 1 методом наименьших квадратов найти
аппроксимирующий полином третьей степени
3
3
2
210
*
)(lg))(lg()(lg QaQaQaaF +++=
для бора в кремнии.
Решение задачи проведено в среде MathCAD2000 PRO (листинг 2).
Листинг 2
Матрица исходных
данных: первый столбец
– значения доз Q в см
-2
,
второй – значения
параметра F*
Выделение массивов доз
и параметров F*
Векторизация массива
логарифмов доз
data
10
13
510
13
⋅
10
14
510
14
⋅
10
15
510
15
⋅
10
16
510
16
⋅
2.3
2.6
6.0
10.2
12.5
13.0
14.3
21.0
:=
Qdata
0
〈〉
:= Fdata
1
〈〉
:=
lgQlogQ()
→
:=
Степень аппроксими-
рующего полинома
k3:=
Расчет коэффициентов
аппроксимирующего
полинома
zregresslgQF, k,():= coeffssubmatrixz3, lengthz()1−, 0 , 0 ,():=
coeffs
T
466.412− 91.5656.162− 0.145()=
                                                                               9

                             1 .10
                                     19




                             1 .10
                                     18




                             1 .10
                                     17




                   N, cm-3
                             1 .10
                                     16




                             1 .10
                                     15




                             1 .10
                                     14

                                                       2 .10                   4 .10                6 .10
                                                                7                        7                  7
                                          0
                                                                                 x, m




            Рис. 4. Граф иксум м арной концентрации при внед рении ионовф осф ора
                 сэнергией 100 кэВ и д озой 1014 см -2 впод лож кум арки К Д Б4.


2.      По д анны м таблицы         1 м етод ом наим еньш их квад ратов найти
     аппроксимирую щ ий полином третьей степени
                         F * = a0 + a1 (lg Q) + a 2 (lg( Q)) 2 + a3 (lg Q) 3
     д ля бора вкрем нии.
        Реш ениезад ачипровед ено всред еMathCAD2000 PRO (листинг 2).

                                                                                                                                      Л истинг 2

                                                                   13               
                                                               10            2.3    
 М атрица         исх од ны х                                       13              
                                                               5 ⋅ 10         2.6
 д анны х : первы й столбец                                                         
 – значения д оз Q в см ,
                           -2
                                                               10
                                                                    14
                                                                              6.0    
 второй       –    значения                                         14              
                                                               5 ⋅ 10
                                              data :=                               
                                                                              10.2
 парам етра F*                                                     15               
                                                                10            12.5
 В ы д еление м ассивов д оз                                                                                   〈0〉                〈1〉
 ипарам етровF*                                               5 ⋅ 10
                                                                     15
                                                                              13.0              Q := data              F := data
 В екторизация       м ассива                                      16
                                                                                                                       →
 логариф м овд оз                                              10            14.3                         lgQ := log ( Q)
                                                                    16              
                                                              5 ⋅ 10         21.0   

 Степеньаппроксим и-                          k := 3
 рую щ его полином а
 Расчеткоэф ф ициентов                        z := regress ( lgQ , F , k)                coeffs := submatrix (z , 3 , length ( z) − 1, 0 , 0)
 аппроксим ирую щ его                                                     T
 полином а                                                      coeffs = ( −466.412 91.565 −6.162 0.145 )

Страницы