Распределения внедренных примесей с учетом эффекта каналирования. Асессоров В.В - 10 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

10
Аппроксимирующий полином параметра F*(Q) для бора в кремнии
F1Q()466.412− 91.565logQ()()⋅+ 6.162logQ()()
2
⋅− 0.145logQ()()
3
⋅+:=
121314151617
0
5
10
15
20
25
log(Q)
F*
Рис. 5. Зависимость параметра F*(Q) для бора в кремнии:
+
+
+
- табличные данные;
–––– - аппроксимирующий полином третьей степени.
3. По данным таблицы 1 методом наименьших квадратов найти
аппроксимирующие полиномы третьей степени
∑
=
=
3
0
*
)(lg
i
i
i
QaF
для ионов фосфора и мышьяка в кремнии.
4. Кремниевая подложка имплантируется ионами бора с энергией 100 кэВ .
Рассчитать и построить график зависимости координаты точки сопряжения
экспоненциального “хвоста” с неусеченной гауссианой от дозы имплантации
в диапазоне доз 10
13
÷5⋅10
16
см
-2
.
5. Для кремниевой подложки , имплантируемой ионами бора, рассчитать и
построить семейство зависимостей координаты точки сопряжения
экспоненциального “хвоста” с неусеченной гауссианой от дозы имплантации
в диапазоне доз 10
13
÷5⋅10
16
см
-2
при энергиях 50, 70, 90, 110 и 150 кэВ .
6. Кремниевая подложка имплантируется ионами фосфора с энергией 80 кэВ .
Рассчитать и построить график зависимости координаты точки сопряжения
экспоненциального “хвоста” с неусеченной гауссианой от дозы в диапазоне
10
13
÷5⋅10
16
см
-2
.
7. Провести численные эксперименты по исследованию зависимости
нормирующего коэффициента S = Q/Q' от дозы имплантации в диапазоне 
                                                           10


            А ппроксим ирую щ ий полином парам етра F*(Q) д ля бора вкрем нии
                                                                                2                         3
               F1( Q) := −466.412 + 91.565 ⋅ ( log ( Q) ) − 6.162 ⋅ ( log ( Q) ) + 0.145 ⋅ ( log ( Q) )


                   25



                   20



                   15
              F*




                   10



                    5



                    0
                        12          13             14              15               16           17
                                                         log(Q)




                   Рис. 5. Зависим остьпарам етра F*(Q) д ля бора вкрем нии:
                   + + + - табличны ед анны е;
                   – – – – - аппроксим ирую щ ий полином третьей степени.


3.     По д анны м таблицы     1 м етод ом наим еньш их                                            квад ратов найти
     аппроксимирую щ иеполином ы третьей степени

                                                          3
                                                 F * = ∑ ai (lg Q )i
                                                         i =0
   д ля ионовф осф ора им ы ш ьяка вкрем нии.
4. К рем ниевая под лож ка им плантируется ионами бора с энергией 100 кэВ .
   Рассчитать и построить граф икзависим ости коорд инаты точки сопряж ения
   экспоненциального “х воста” с неусеченной гауссианой отд озы им плантации
   вд иапазонед оз 10 13÷5⋅1016 см -2 .
5. Д ля крем ниевой под лож ки, им плантируем ой ионам и бора, рассчитать и
   построить сем ейство зависим остей коорд инаты              точки сопряж ения
   экспоненциального “х воста” с неусеченной гауссианой отд озы им плантации
   вд иапазонед оз 10 13÷5⋅1016 см -2 приэнергиях 50, 70, 90, 110 и 150 кэВ .
6. К рем ниевая под лож ка им плантируется ионами ф осф ора с энергией 80 кэВ .
   Рассчитать и построить граф икзависим ости коорд инаты точки сопряж ения
   экспоненциального “х воста” с неусеченной гауссианой отд озы в д иапазоне
   1013÷5⋅1016 см -2.
7. Провести численны е эксперим енты по исслед ованию зависим ости
   норм ирую щ его коэф ф ициента S= Q/Q' от д озы им плантации в д иапазоне

Страницы