ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
3
СОДЕРЖАНИЕ
1. Распределения ионно-имплантированных примесей в однородных
разориентированых мишенях с учетом эффекта каналирования …….……. 4
2. Распределение ионно-имплантированных примесей в однородной
разориентированной мишени в приближении двух параметров
(неусеченная гауссиана) с учетом эффекта каналирования ……………...... 5
3. Распределение ионно-имплантированных примесей в однородной
разориентированной мишени в приближении двух параметров
(усеченная гауссиана) с учетом эффекта каналирования………...………... 11
4. Распределение ионно-имплантированных примесей в однородной
разориентированной мишени в приближении трех параметров с учетом
эффекта каналирования …………………………………………………...… . 14
5. Распределение ионно-имплантированных примесей в однородной
разориентированной мишени в приближении четырех параметров
с учетом эффекта каналирования …………………………………………… 17
Литература … .………………………………………………….…………..… . 21
3
СО Д Е РЖ А Н И Е
1. Распред еления ионно-имплантированны х прим есей вод нород ны х
разориентированы х м иш енях сучетом эф ф екта каналирования … … .… … . 4
2. Распред елениеионно-им плантированны х прим есей вод нород ной
разориентированной м иш ени вприближ ениид вух парам етров
(неусеченная гауссиана) сучетом эф ф екта каналирования … … … … … ...... 5
3. Распред елениеионно-им плантированны х прим есей вод нород ной
разориентированной м иш ени вприближ ениид вух парам етров
(усеченная гауссиана) сучетом эф ф екта каналирования… … … ...… … … ... 11
4. Распред елениеионно-им плант
ированны х примесей вод нород ной
разориентированной м иш ени вприближ ениитрех парам етров сучетом
эф ф екта каналирования … … … … … … … … … … … … … … … … … … … ...… . 14
5. Распред елениеионно-им плантированны х прим есей вод нород ной
разориентированной м иш енивприближ ении четы рех парам етров
сучетом эф ф екта каналирования … … … … … … … … … … … … … … … … … 17
Л итература … .… … … … … … … … … … … … … … … … … … … .… … … … ..… . 21
