Распределения внедренных примесей с учетом эффекта каналирования. Асессоров В.В - 2 стр.

UptoLike

Рубрика: 

2
Утверждено научно-методическим советом физического
факультета от 14 января 2004 г протокол 1.
Составители: Асессоров В . В .
Быкадорова Г . В .
Гольдфарб В . А .
Кожевников В . А .
Пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников
микроэлектроники физического факультета Воронежского
государственного университета .
Рекомендуется для студентов 4 и 5 курсов физического факультета
специальности 014100 "Микроэлектроника и полупроводниковые
приборы ", а также студентов 4 и 5 курсов, обучающихся в
бакалавриатуре и магистратуре по направлению "Физика " (программа
"Физика полупроводников. Микроэлектроника ").
                                     2




      У тверж д ено    научно-м етод ическим      советом        ф изического
ф акультета от 14 января 2004 г протокол№ 1.


                                   Составители: А сессоровВ .В .
                                                Бы кад орова Г.В .
                                                Гольд ф арб В .А .
                                                К ож евниковВ .А .




     Пособие под готовлено на каф ед ре ф изики полупровод ников
м икроэлектроники         ф изического      ф акультета     В оронеж ского
госуд арственного университета.
     Реком енд уется д ля студ ентов 4 и 5 курсов ф изического ф акультета
специальности 014100 "М икроэлектроника и полупровод никовы е
приборы ", а такж е студ ентов 4 и 5              курсов, обучаю щ их ся в
бакалавриатуре и м агистратуре по направлению "Ф изика" (програм м а
"Ф изика полупровод ников. М икроэлектроника").