Программа государственного экзамена по специальности подготовки дипломированных специалистов 200100 "Твердотельная электроника и микроэлектроника". Авдеев С.П - 11 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

10. Принцип работы сканирующего туннельного микроскопа (СТМ).
Конструкция СТМ.
11. Режимы работы СТМ, достоинства и недостатки.
12. Спектроскопия поверхности в СТМ. Чувствительность и разрешение.
13. Принцип работы атомно-силового микроскопа (АСМ). Свойства
поверхности в атомно-силовой микроскопии.
14. Контактный и полуконтактный методы исследования поверхности. Метод
фазового контраста в АСМ.
15. Взаимодействие
электронов с твердым телом. Упругое, неупругое
рассеяние. Вторичные электроны. Распределение по энергиям.
16. Принцип получения изображения в растровом электронном микроскопе,
разрешение. Структура оборудования для РЭМ. Достоинства, недостатки
РЭМ.
17. Принцип работы, структура, характеристики просвечивающих РЭМ
(ПРЭМ). Разрешение ПРЭМ. Методы получения изображения в ПРЭМ.
18. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС). Оборудование,
источники
излучения, электронные спектрометры.
19. Оже-электронная спектроскопия (ОЭС). Методики ОЭС. Количественный
анализ, получение профилей концентрации.
20. Вторично-ионая масс-спектрометрия (ВИМС). Спектры ВИМС. Анализ
распределения элементов по глубина.
Рекомендуемая литература:
1.Бублик В.Т., Дубровина А.Н. Методы исследования структуры
полупроводников и металлов. – М.: Высшая школа, 1987 г., 272 с.
2.Бублик В.
Т., Дубровина А.Н. Сборник задач и упражнений по курсу
“Методы исследования структур”. - М.: Высшая школа, 1988 г., 190 с.
3.Павлов Л.И. Методы измерения параметров полупроводниковых
материалов.- М.: Высшая школа, 1987 г., 239 с.
4.Фелдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок. – М.:
Мир, 1989 г.
5.Вудраф Д., Делчар Т. Современные
методы исследования поверхности. -
М.: Мир, 1989 г.
2.6. Микросхемотехника.
1. Логические функции, способы их представления: алгеброическое,
табличное, графическое.
2. Совершенная дизъюнктивная нормальная форма представления логических
функций.
3. Минимизация логических функций с помощью карт Карно.
4. Основные типы триггеров, асинхронный и синхронный режимы их работы.
5. Шифраторы и дешифраторы. Назначение, основные типы, принцип
действия.
6. Мультиплексоры и демультиплексоры. Назначение, принцип действия.
7. Цифровые счетчики, классификация, назначение, принцип действия.

Страницы