Программа государственного экзамена по специальности подготовки дипломированных специалистов 200100 "Твердотельная электроника и микроэлектроника". Авдеев С.П - 8 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

11. Растворение твёрдых тел. Процесс химического травления (кинетика
процесса, механизмы растворения по Мюллеру и Френкелю,
диффузионная и реакционная кинетика растворения, полирующее и
селективное травление).
12. Образование и отжиг радиационных дефектов.
Рекомендуемая литература:
1. Черняев В.Н. Физико-химические процессы в технологии радиоэлектронной
аппаратуры. - М.: Высш. школа, 1987. - 376 с.
2. Чистяков Ю.Д
., Райнова Ю.П. Физико-химические основы технологии
микроэлектроники. - М.: Металлургия, 1979. - 408 с.
3. Ормонт Б.Ф. Ведение в физическую химию и кристаллохимию
полупроводников. - М.: Высш. школа, 1973. - 655 с.
2.3. Технология материалов электронной техники.
1. Построение технологического процесса. Основные характеристики
производства.
2. Технологическая документация. Стадии разработки документов по ЕСТД.
3. Система обозначения ТД.
Объекты производства.
4. Классификация загрязнений и их источников. Чистые и особо чистые
помещения.
5. Понятие о чистом веществе.
6. Классификация высокочистых веществ.
7. Общая характеристика и классификация методов очистки.
8. Механизмы очистки веществ сорбцией.
9. Механизм очистки вещества хроматографией и основные методы
жидкостно-адсорбционной хроматографии.
10. Механизмы очистки веществ экстракцией.
11.
Сублимационный метод очистки материалов.
12. Метод очистки материалов дистилляцией.
13. Типы химических транспортных реакций.
14. Сущность процесса очистки при кристаллизации из расплава.
15. Технологические середы и их очистка.
16. Классификация методов очистки поверхности.
17. Обезжиривание в органических растворителях.
18. Химическое травление, полирование.
19. Финишная очистка.
20. Классификация механических методов формообразования
элементов ЭТ
Рекомендуемая литература:
1. Авдеев С.П. Технология материалов электронной техники. Конспект лекций
2. Таиров Ю.М., Цветков В.Ф. Технология полупроводниковых и
диэлектрических материалов – М. : Высшая школа, 1990.
3. Крапухин В.В., Соколов И.А., Кузнецов Г.Д. Технология материалов
электронной техники – М.: МИСИС, 1995.

Страницы