Физические основы микроэлектроники. Базир Г.И. - 26 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Остановимся более подробно на одном из этих дефектов.

1. Точечный дефект – это нарушение кристаллической структуры, размеры

которого во всех трех измерениях сравнимы с одним или несколькими меж-

атомными расстояниями. Точечные дефекты, в свою очередь, подразделяют на

собственные (стехиометрические) и примесные. К собственным дефектам отно-

сятся: вакансия, междоузельный атом (см. рис. 8), а

также их комбинации (ком-

плексы), например, дефект Френкеля – междоузельный атом и вакансия и де-

фект Шо ттки – вакансия и атом на поверхности (рис. 9).

а) Vа – вакансия атома А. б) А

–междоузельный атом

Рис. 8. Точечные дефекты

а) (А

+ V

) – Дефект Френкеля б) (V

+ A

) – дефект по Шо ттки

Рис. 9. Комплексы точечных дефектов

К точеч ным дефектам относится

так называемый антиструктурный

дефект, который более свойственен

для бинарных и многокомпонентных

соединений (рис. 10).