Электрофизические методы исследования МДП-структур. Бормонтов Е.Н. - 15 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

15
4. Какими параметрами полупроводника , диэлектрика и металла определяется
зависимость приложенного к МДП структуре напряжения смещения V
g
от
поверхностного потенциала ψ
s
?
5. Объясните зависимость емкости идеальной МДП структуры от напряжения
смещения для случая НЧ и ВЧ.
6. Чем объясняется отличие равновесных ВФХ от неравновесных ?
7. Какому состоянию ОПЗ полупроводника соответствует область максимального
наклона ВФХ ?
8. Какими параметрами определяется минимальная емкость МДП структуры ?
9. Какой тип проводимости полупроводника (n или p) отвечает положению
минимальной ВЧ емкости МДП структуры в области более отрицательных V
g
;
в области более положительных V
g
?
10. Каким образом безразмерный параметр степени легирования полупроводника
λ и объемный потенциал φ
B
связаны с концентрацией примеси в объеме
полупроводника ?
11. Какая из методик НЧ или ВЧ определения концентрации примеси для
реальных МДП структур имеет преимущества и почему?
12. Каким образом определяется напряжение плоских зон V
FB
и пороговое
напряжение V
T
?
13. Какова роль поверхностного состояний?
14. Каким образом поверхностные состояния влияют на форму ВФХ ?
15. Какова природа заряда вблизи границы раздела полупроводник – диэлектрик ?
ЛИТЕРАТУРА
1. Бормонтов Е.Н. Физика и метрология МДП-структур . –Воронеж, 1997.-С.32-
45, 67-75.
2. Зи С. Физика полупроводниковых приборов. –М ., 1984. –Кн.1. – С. 377-422.
3. Павлов Л.П. Методы измерения параметрров полупроводниковых материалов.
–М ., 1987. – С.155-166.
4. Батавин В .В . , Концевой Ю.А. , Федорович Ю .В . Измерение параметров
полупроводниковых материалов и структур . –М ., 1985. –С.167-192.
5. Гуртов В .А. Основы физики структур металл- диэлектрик-полупроводник. –
Петрозаводск,1983. –С.56-88. 
4. Ка ки ми па р а ме тр а ми по лупр о во дни ка , ди эле ктр и ка и ме та лла о пр е де ляе тся
   за ви си мо стьпр и ло ж е нно го к М Д П стр уктур е на пр яж е ни я сме щ е ни я Vg о т
   по ве р х но стно го по те нци а ла ψs?
5. О б ъясни те за ви си мо стье мко сти и де а льно й М Д П стр уктур ы о т на пр яж е ни я
   сме щ е ни я для случа я Н Ч и В Ч .
6. Ч е м о б ъясняе тся о тли чи е р а вно ве сны х В Ф Х о тне р а вно ве сны х ?
7. Ка ко му со сто яни ю О П З по лупр о во дни ка со о тве тствуе то б ла стьма кси ма льно го
   на кло на В Ф Х ?
8. Ка ки ми па р а ме тр а ми о пр е де ляе тся ми ни ма льна я е мко стьМ Д П стр уктур ы ?
9. Ка ко й ти п пр о во ди мо сти по лупр о во дни ка (n и ли p) о тве ча е т по ло ж е ни ю
   ми ни ма льно й В Ч е мко сти М Д П стр уктур ы в о б ла сти б о ле е о тр и ца те льны х Vg ;
   в о б ла сти б о ле е по ло ж и те льны х Vg ?
10.Ка ки м о б р а зо м б е зр а зме р ны й па р а ме тр сте пе ни ле ги р о ва ни я по лупр о во дни ка
   λ и о б ъе мны й по те нци а л φB связа ны с ко нце нтр а ци е й пр и ме си в о б ъе ме
   по лупр о во дни ка ?
11.Ка ка я и з ме то ди к Н Ч и ли В Ч о пр е де ле ни я ко нце нтр а ци и пр и ме си для
   р е а льны х М Д П стр уктур и ме е тпр е и мущ е ства и по че му?
12.Ка ки м о б р а зо м о пр е де ляе тся на пр яж е ни е пло ски х зо н VFB и по р о го во е
   на пр яж е ни е VT ?
13. Ка ко ва р о ль по ве р х но стно го со сто яни й?
14. Ка ки м о б р а зо м по ве р х но стны е со сто яни я вли яю тна ф о р му В Ф Х ?
15.Ка ко ва пр и р о да за р яда вб ли зи гр а ни цы р а зде ла по лупр о во дни к – ди эле ктр и к ?


                                          Л И ТЕР А ТУР А

1. Бо р мо нто в Е.Н . Ф и зи ка и ме тр о ло ги я М Д П -стр уктур . – В о р о не ж , 1997.-С.32-
45, 67-75.
2. Зи С. Ф и зи ка по лупр о во дни ко вы х пр и б о р о в. – М ., 1984. – Кн.1. – С. 377-422.
3. П а вло в Л .П . М е то ды и зме р е ни я па р а ме тр р о в по лупр о во дни ко вы х ма те р и а ло в.
– М ., 1987. – С.155-166.
4. Ба та ви н В .В . , Ко нце во й Ю .А. , Ф е до р о ви ч Ю .В . И зме р е ни е па р а ме тр о в
по лупр о во дни ко вы х ма те р и а ло в и стр уктур . – М ., 1985. – С.167-192.
5. Гур то в В .А. О сно вы ф и зи ки стр уктур ме та лл-ди эле ктр и к-по лупр о во дни к. –
П е тр о за во дск,1983. – С.56-88.




                                                    15

Страницы