Электрофизические методы исследования МДП-структур. Часть 2. Бормонтов Е.Н. - 16 стр.

UptoLike

Составители: 

16
е) напряжение плоских зон;
ж ) напряжение инверсии;
з) пороговое напряжение;
и) интегральная плотность поверхностных состояний .
Кроме этого может быть произведен расчет распределения
плотности поверхностных состояний в запрещенной зоне полупроводника.
ИВК обладает следующими характеристиками:
а) напряжение питания 220В , 50Гц;
б) диапазон измеряемых емкостей 10 є 1000 пФ ;
в) время одного измерения 500 мс;
г) погрешность измерения < 1%;
д) амплитуда тестового сигнала - 25 мВ ;
е) частота тестового сигнала - 1 МГц;
ж ) диапазон напряжений смещения - 10 є + 10В ;
з) минимальный шаг напряжения смещения 5 мВ ;
и) максимальная погрешность установки напряжения смещения не
превышает 0,1%.
В состав ИВК входят: персональный компьютер, измеритель
импеданса цифровой Е 7-12, модуль согласования и измерительная
ячейка. Блок-схема ИВК показана на рис.3.
Модуль согласования представляет собой адаптер канала общего
пользования (КОП) и программно управляемый цифро- аналоговый
Рис.3. Схема измерительно- вычислительного комплекса.
                                 16
    е) напря ж ениеплоских зон;
    ж ) напря ж ениеинверсии;
    з) пороговоенапря ж ение;
    и) интегральная плотность поверхностны х состоя ний.
        К роме этого мож ет б ы ть произведен расчет распределения
плотности поверхностны х состоя ний в запрещ енной зонеполупроводника.
        И В К об ладает следую щ ими характеристиками:
    а) напря ж ениепитания 220В , 50Гц;
    б ) диапазон измеря емы х емкостей 10 є 1000 пФ ;
    в) время одного измерения 500 мс;
    г) погреш ность измерения < 1%;
    д) амплитудатестового сигнала- 25 мВ ;
    е) частотатестового сигнала- 1 М Гц;
    ж ) диапазон напря ж ений смещ ения - 10 є + 10В ;
    з) минимальны й ш аг напря ж ения смещ ения 5 мВ ;
    и) максимальная погреш ность установки напря ж ения смещ ения не
превы ш ает 0,1%.
        В состав И В К входя т: персональны й компью тер, измеритель
импеданса циф ровой Е 7-12, модуль согласования и измерительная
я чейка. Блок-схема И В К показана на рис.3.




           Рис.3. Схемаизмерительно-вы числительного комплекса.

     М одуль согласования представля ет соб ой адаптер канала об щ его
пользования  (К О П ) и программно управля емы й циф ро-аналоговы й