Электрофизические методы исследования МДП-структур. Часть 2. Бормонтов Е.Н. - 17 стр.

                                17
преоб разователь.       Зондовое устройство             используется   для
получения контакта с исследуемой структурой.

                    2. П орядок вы п олн ен ия работы

       1. И змерить площ адь металлического электрода исследуемой
М Д П -структуры .
       2. Н анести на об разец (исследуемую М Д П - структуру) со стороны
подлож ки индий - галлиевую эвтектику для получения стаб ильного
омического контакта предметны й столик- подлож ка. П олож ить М Д П -
структуру на предметны й столик и установить зонд в нуж ной точке
пластины (наодном изметаллических электродов).
               П ри опускании зонданеоб ходимаосторож ность!
                           Сущ ествует возмож ность
                    механического повреж дения структуры !
       3. В клю чить измерительны й приб ор (измеритель L, C, R циф ровой
Е 7-12).
       4. В клю чить Э В М (системны й б лок, дисплей). Системны й б лок
вклю чается на передней панели, монитор – сзади.
       5. П ри помощ и об олочки Norton Commander (NC) создайте (если его
ещ е нет) каталог, в котором б удут храниться ф айлы с результатами ваш их
измерений (например, если необ ходимо хранить ф айлы в каталоге
С:\CV\JULY\3-47\, то сначала в корневом каталоге диска С:\ создаем
каталог CV. Д ля этого переходим в корневой каталог +<\>, наж имаем
 и в откры вш емся диалоге наб ираем: CV. П ереходим в каталог CV,
установив на него стрелками указатель и наж ав . Д алее создаем
каталог JULY [, JULY, ] и переходим в этот каталог [].
Т еперь в каталогеJULY создадим каталог 3-47 [, 3-47, ]).
       6. П ерейдитево вновь созданны й или уж есущ ествовавш ий каталог.
       7.     Н аж мите ,.       П оя вится подменю пользователя
операционной об олочки Norton Commander (см. рис.4).
       8. Н аж мите <1> (или вы б ерите стрелками пункт “ И змерение
C-V характеристик и наж мите ). П оя вится главное меню
измерительной программы (см. рис.5).
       9. У становите необ ходимы й диапазон напря ж ений (“ Н ачальное
напря ж ение” и “ К онечноенапря ж ение”) так, чтоб ы С-V кривая попадалав
установленны й диапазон полностью . Рекомендуется для ускорения
процесса измерения устанавливать в качестве начального то напря ж ение,
при котором исследуемая М Д П структура находится в состоя нии
инверсии (ниж ня я “ полка”). Е сли приб лизительны й вид C-V кривой
заранеенеизвестен, и вы затрудня етесь определить пределы измерения по
напря ж ению , установите “ Н ачальное напря ж ение” -10, а “ К онечное
напря ж ение” +10 и б ы стро просмотритевид C-V кривой (см. п. 22).
       10. В качестве “ Н апря ж ения об огащ ения ” вы б ирается то
напря ж ение, при котором структура заведомо находится с состоя нии