Наклонная ионная имплантация. Бормонтов Е.Н - 1 стр.

М И Н И СТ Е РСТ В О О БРА ЗО В А Н И Я РО ССИ Й СК О Й Ф Е Д Е РА Ц И И
    В О РО Н Е Ж СК И Й ГО СУ Д А РСТ В Е Н Н Ы Й У Н И В Е РСИ Т Е Т


                      Ф И ЗИ ЧЕ СК И Й Ф А К У ЛЬТ Е Т




                 Н аклон н ая ион н ая им п лан т ац ия

      Прак тик ум к         спецк урсу “М оделирован ие в
      мик роэ лек трон ик е” по специаль н ости 014100
      "М ик роэ лек трон ик аи полупроводн ик овы еприборы "




                                В орон еж
                                   2003