Наклонная ионная имплантация. Бормонтов Е.Н - 3 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

3
Содержание
Введение ………………………………………………………………………. 4
1. Распределения ионно-имплантированных примесей при наклонной
имплантации……………………………………………………………... 5
2. Локальная наклонная имплантация………………………………………. 12
2.1. Распределение примесей при наклонной имплантации с учетом
бокового рассеяния под край защитной маски………………….. 12
2.2. Распределение примесей при наклонной имплантации с учетом
бокового рассеяния под края щели в защитной маске…………… 23
Литература ………………………………………………………………...… 29
Приложение. Аппроксимирующие полиномы для расчета параметров
распределений основных примесей в кремнии………………………..… .. 30 
                                         3




                                 Содерж ан ие

   В веден ие… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .         4

1. Распределен ия ион н о-имплан тирован н ы х примесей при н ак лон н ой
    имплан тации… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … ...            5

2. Лок аль н ая н ак лон н ая имплан тация… … … … … … … … … … … … … … … .   12

    2.1. Распределен иепримесей при н ак лон н ой имплан тации сучетом
         бок ового рассеян ия под к рай защ итн ой маск и… … … … … … … ..   12

    2.2. Распределен иепримесей при н ак лон н ой имплан тации сучетом
        бок овогорассеян ия под к рая щ ели в защ итн ой маск е… … … … …    23

Литература… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … ...…              29

Прилож ен ие. А ппрок симирую щ ие полин омы для расчетапараметров
распределен ий осн овн ы х примесей в к ремн ии… … … … … … … … … ..… ..     30

Страницы