Наклонная ионная имплантация. Бормонтов Е.Н - 15 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

15
1
.
10
8
01
.
10
8
2
.
10
8
3
.
10
8
4
.
10
8
1
0.8
0.6
0.4
0.2
0
m
0
1−
Nfxy,()
Nm
510
8−
⋅1− 10
10−
×
y
Рис. 4. График распределения нормированного бокового концентрационного
профиля при наклонной имплантации под углом 10° относительно нормали к
кремниевой пластине ионов бора с энергией 50 кэВ и дозой 150 мкКл/см
2
б )
θ 10
π
180
⋅:= d410
4−
⋅ cm:= Q1506.25⋅ 10
12
⋅ cm
2−
:=
Rp1.58610
5−
× cm:=∆Rp4.9910
6−
× cm:=∆Rt5.310
6−
× cm:=
∆R ∆Rp
2
cos θ
()
2
⋅
1
2
∆Rt
2
sin θ
()
2
⋅+:=
XmRp4∆Rp⋅+:=
∆R't ∆Rtsin θ
()
⋅:= a'Rpcos θ
()
⋅ tan θ
()
⋅:=
x0()cm10
6−
cm, 210
4−
⋅ cm..:= y110− 10
4−
⋅ cm:= y2a':= y32∆R't:=
                                                                    15




                      0
              0




                   0.2




                   0.4

     Nf( x, y )
       Nm
                   0.6




                   0.8




            −1      1
                   1 .10                                1 .10            2 .10            3 .10            4 .10
                             8                                  8                8                8                8
                                            0
                          − 1× 10− 10                                          y                                       5⋅10− 8
                                                                              m
Рис. 4. Граф ик распределен ия н ормирован н ого бок овогок он цен трацион н ого
проф иля при н ак лон н ой имплан тации под углом 10° отн оситель н о н ормали к
  к ремн иевой пластин е ион ов борасэ н ергией 50 к э В и дозой 150 мк К л/см2

б)
                  π                             −4                                        12          −2
 θ := 10 ⋅                   d := 4 ⋅ 10 cm                  Q := 150 ⋅ 6.25 ⋅ 10 cm
                  180

                                 −5                                      −6                                  −6
 Rp := 1.586 × 10 cm                        ∆Rp := 4.99 × 10 cm ∆Rt := 5.3 × 10 cm

 ∆R := ∆Rp ⋅ cos ( θ ) +                             ∆Rt ⋅ sin ( θ )
                      2                 2        1       2               2
                                                 2

Xm := Rp + 4 ⋅ ∆Rp

∆R't := ∆Rt ⋅ sin ( θ ) a' := Rp ⋅ cos ( θ ) ⋅ tan ( θ )
                          −6                    −4                                   −4
 x := ( 0)cm, 10 cm.. 2 ⋅ 10 cm y1 := −10 ⋅ 10 cm y2 := a' y3 := 2 ∆R't

Страницы