Наклонная ионная имплантация. Бормонтов Е.Н - 17 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

17
Решение
Ниже приведен листинг решения задачи на Mathcad 2000 и графики
распределений двумерного бокового распределения примеси (рис. 6),
нормированных концентрационных профилей по глубине (рис. 7) и графики
зависимостей глубин залегания p-n переходов (рис. 8).
а)
xj2xy3x(),()3.63210
7−
× m=xj1xy3x(),()7.643− 10
8−
× m=
xj2xy2x(),()3.57510
7−
× m=xj1xy2x(),()7.07− 10
8−
× m=
xj2xy1x(),()3.45210
7−
× m=xj1xy1x(),()5.843− 10
8−
× m=
xj2xy,()Rpcos θ
()
⋅∆R2ln
Q 2 erfc
ya''x()−()
2∆Rt⋅
−
⋅
22π⋅⋅∆R⋅Ni⋅
⋅⋅+:=
xj1xy,()Rpcos θ
()
⋅∆R2ln
Q 2 erfc
ya''x()−()
2∆Rt⋅
−
⋅
22π⋅⋅∆R⋅Ni⋅
⋅⋅−:=
y3x()a''x() 2 ∆R't⋅+:=y2x()a''x():=y1x()a''x() 2 ∆R't⋅−:=
xRpcos θ
()
⋅:=a''x()xd+()tan θ
()
⋅:=∆ R't ∆Rtsin θ
()
⋅:=
∆R ∆Rp
2
cos θ
()
2
⋅
1
2
∆Rt
2
sin θ
()
2
⋅+:=
∆Rt 6.0357810
6−
× cm:=∆ Rp 5.4887710
6−
× cm:=Rp 1.87210
5−
× cm:=
Q 806.25⋅ 10
12
⋅ cm
2−
:=d 210
4−
⋅ cm:=θ 40
π
180
⋅:=
Ni
1
qe 1400⋅
cm
2
Vsec⋅
⋅ 2⋅ ohm⋅ cm⋅
:=
KulAsec⋅≡qe 1.610
19−
⋅ Kul⋅:=
                                                  17


                                                  Реш ен ие

    Н иж е приведен листин г реш ен ия задачи н а Mathcad 2000 и граф ик и
распределен ий двумерн ого бок ового распределен ия примеси (рис. 6),
н ормирован н ы х к он цен трацион н ы х проф илей по глубин е (рис. 7) и граф ик и
зависимостей глубин залеган ия p-n переходов (рис. 8).
а)
 qe := 1.6 ⋅ 10− 19 ⋅ Kul Kul ≡ A ⋅ sec
                              1
 Ni :=                       2
                          cm
         qe ⋅ 1400 ⋅                  ⋅ 2 ⋅ ohm ⋅ cm
                         V ⋅ sec
             π                                                        −2
 θ := 40 ⋅             d := 2 ⋅ 10− 4cm Q := 80 ⋅ 6.25 ⋅ 1012cm
             180
 Rp := 1.872 × 10− 5cm ∆Rp := 5.48877× 10− 6cm ∆Rt := 6.03578× 10− 6cm

 ∆R := ∆Rp ⋅ cos (θ ) + ∆Rt ⋅ sin(θ )
                   2              2     1     2         2
                                        2

 ∆R't := ∆Rt ⋅ sin(θ ) a'' ( x) := ( x + d) ⋅ tan(θ )              x := Rp ⋅ cos (θ )

 y1( x) := a'' ( x) − 2 ⋅ ∆R't y2( x) := a'' ( x)                y3( x) := a'' ( x) + 2 ⋅ ∆R't

                                            Q ⋅  2 − erfc ( y − a'' ( x) )   
                                                        
                                                                2 ⋅ ∆Rt  
                                                                               
 xj1( x , y) := Rp ⋅ cos (θ ) − ∆R ⋅ 2 ⋅ ln                                      
                                                  2 ⋅ 2 ⋅ π ⋅ ∆R ⋅ Ni            
                                            Q ⋅  2 − erfc ( y − a'' ( x))   
                                                        
                                                                2 ⋅ ∆Rt  
                                                                              
 xj2( x , y) := Rp ⋅ cos (θ ) + ∆R ⋅ 2 ⋅ ln                                     
                                                  2 ⋅ 2 ⋅ π ⋅ ∆R ⋅ Ni           
    xj1( x , y1( x) ) = −5.843 × 10− 8 m               xj2( x , y1( x) ) = 3.452 × 10− 7 m

    xj1( x , y2( x) ) = −7.07 × 10− 8 m                xj2( x , y2( x) ) = 3.575 × 10− 7 m
    xj1( x , y3( x) ) = −7.643 × 10− 8 m               xj2( x , y3( x) ) = 3.632 × 10− 7 m

Страницы