Наклонная ионная имплантация. Бормонтов Е.Н - 26 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

26
5
.
10
7
5.05
.
10
7
5.1
.
10
7
5.15
.
10
7
0.4
0.2
0
m
0
0.6−
Nfxy,()
Nm
5.210
7−
⋅5.010
7−
⋅
y
Рис.10. График распределения нормированного бокового профиля вблизи края
маски толщиной 1.5 мкм при наклонной имплантации в щель шириной 5 мкм
под углом 10º относительно нормали сурьмы с энергией 100 кэВ и дозой 10
14
см
-2
б)
Nfxy,()
Nx()
2
erfc
a'x()y−
2∆R't⋅
erfc
a''x()y−
2∆R't⋅
−
⋅:=
Nx()Nme
xRpcos θ()⋅− ()
2
2∆R
2
⋅
−
⋅:=
Nm
Q
2π ∆R⋅
:=
y3x()a'x()2∆R't⋅+:=y2x()a'x():=y10:=
x0()cm10
8−
cm, 0.7510
4−
⋅ cm..:=
a''x()axtan θ
()
⋅+:=a'x()a− xd+()tan θ
()
⋅+:=∆ R't ∆Rtsin θ
()
⋅:=
∆R ∆Rp
2
cos θ
()
2
⋅
1
2
∆Rt
2
sin θ
()
2
⋅+:=
∆Rt1.19410
6−
× cm:=∆ Rp1.82510
6−
× cm:=Rp5.80510
6−
× cm:=
a2.510
4−
⋅ cm:=Q110
14
⋅ cm
2−
:=d1.510
4−
⋅ cm:=θ 10
π
180
⋅:=Ni510
14
⋅ cm
3−
:=
                                                                                     26

                    0
              0




                  0.2

     Nf( x , y)
       Nm

                  0.4




         − 0.6
                  5 .10                   5.05 .10               5.1 .10                      5.15 .10
                            7                        7                         7                         7
                             −7                                            y                                                      −7
                     5.0 ⋅10                                                                                            5.2 ⋅10
                                                                       m

 Рис.10. Граф ик распределен ия н ормирован н огобок овогопроф иля вблизи к рая
  маск и толщ ин ой 1.5 мк м при н ак лон н ой имплан тации в щ ель ш ирин ой 5 мк м
под углом 10ºотн оситель н он ормали сурь мы сэ н ергией 100 к э В и дозой 1014 см-2



б)
                   14           −3                       π                                    −4                          14       −2             −4
 Ni := 5 ⋅ 10 cm                      θ := 10 ⋅                     d := 1.5 ⋅ 10 cm                         Q := 1 ⋅ 10 cm             a := 2.5 ⋅ 10 cm
                                                     180
                                −6                                     −6                                          −6
 Rp := 5.805 × 10 cm                      ∆Rp := 1.825 × 10 cm                            ∆Rt := 1.194 × 10 cm


     ∆R := ∆Rp ⋅ cos ( θ ) +                       ∆Rt ⋅ sin ( θ )
                        2                 2    1             2         2
                                               2
     ∆R't := ∆Rt ⋅ sin ( θ )              a'( x) := −a + ( x + d ) ⋅ tan ( θ )                     a''( x) := a + x ⋅ tan ( θ )
                                −8                       −4
      x := ( 0)cm, 10 cm.. 0.75 ⋅ 10 cm
      y1 := 0 y2( x) := a'( x) y3( x) := a'( x) + 2 ⋅ ∆R't
                                                                                              2
                        Q                                              ( x− Rp⋅cos( θ ) )
       Nm :=                                                       −
                                                                                          2
                                                                                   2⋅∆R
                   2π ⋅ ∆R                    N( x) := Nm ⋅ e

                                     ⋅  erfc
                            N( x)                  a'( x) − y     a''( x) − y  
       Nf( x, y ) :=                                       − erfc             
                                2              2 ⋅ ∆R't         2 ⋅ ∆R't  

Страницы