Наклонная ионная имплантация. Бормонтов Е.Н - 30 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

30
Приложение
Аппроксимирующие полиномы для расчета параметров распределений
основных примесей в кремнии:
- для ионов бора
;)(lg0262,0)(lg0773,0lg8786,0613,0lg
32
EEER
p
⋅−⋅+⋅+=
;)(lg0135,0)(lg0616,0lg8594,0482,0lg
32
EEE
p
R ⋅−⋅−⋅+=∆
;)(lg0,081)(lg0,239lg0,5560,506lg
32
EEER ⋅−⋅+⋅+=∆
⊥
- для ионов фосфора
;)(lg0581,0)(lg3769,0lg1861,0682,0lg
32
EEER
P
⋅−⋅+⋅+=
;)(lg0711,0)(lg3478,0lg2209,0401,0lg
32
EEE
p
R ⋅−⋅+⋅+=∆
;)(lg0,015)(lg0,051lg0,5370,205lg
32
EEER ⋅+⋅+⋅+=∆
⊥
- для ионов мышьяка
;)(lg0174,0)(lg0299,0lg4843,0585,0lg
32
EEER
P
⋅+⋅+⋅+=
;)(lg0074,0)(lg109,0lg3995,0192,0lg
32
EEE
p
R ⋅−⋅+⋅+=∆
;)(lg0,029)(lg0,042lg0,5530,042lg
32
EEER ⋅+⋅−⋅+=∆
⊥
- для ионов сурьмы
;)(lg0327,0)(lg0767,0lg606,0597,0lg
32
EEER
P
⋅+⋅−⋅+=
;)(lg0124,0)(lg0103,0lg4905,0104,0lg
32
EEE
p
R ⋅+⋅+⋅+=∆
.)(lg0,032)(lg0,096lg0,6290,047lg
32
EEER ⋅+⋅−⋅+−=∆
⊥
Здесь энергия задается в килоэлектронвольтах , а значения нормальных
пробегов и среднеквадратичных отклонений получаются в нанометрах . 
                                                       30




                                                                                                  П риложен ие

     А ппрок симирую щ иеполин омы для расчетапараметров распределен ий
осн овн ы х примесей в к ремн ии:

- для ион ов бора
                  lg R p = 0,613 + 0,8786 ⋅ lg E + 0,0773 ⋅ (lg E ) 2 − 0,0262 ⋅ (lg E ) 3 ;

                lg ∆R       = 0,482 + 0,8594 ⋅ lg E − 0,0616 ⋅ (lg E ) 2 − 0,0135 ⋅ (lg E ) 3 ;
                        p

                   lg ∆R⊥ = 0,506 + 0,556 ⋅ lg E + 0,239 ⋅ (lg E ) 2 − 0,081 ⋅ (lg E )3 ;
- для ион ов ф осф ора
                  lg RP = 0,682 + 0,1861 ⋅ lg E + 0,3769 ⋅ (lg E ) 2 − 0,0581 ⋅ (lg E ) 3 ;
                 lg ∆R = 0,401 + 0,2209 ⋅ lg E + 0,3478 ⋅ (lg E ) 2 − 0,0711 ⋅ (lg E )3 ;
                      p

                   lg ∆R⊥ = 0,205 + 0,537 ⋅ lg E + 0,051 ⋅ (lg E ) 2 + 0,015 ⋅ (lg E )3 ;
- для ион ов мы ш ь як а
                 lg RP = 0,585 + 0,4843 ⋅ lg E + 0,0299 ⋅ (lg E ) 2 + 0,0174 ⋅ (lg E ) 3 ;
                 lg ∆R = 0,192 + 0,3995 ⋅ lg E + 0,109 ⋅ (lg E ) 2 − 0,0074 ⋅ (lg E )3 ;
                      p

                   lg ∆R⊥ = 0,042 + 0,553 ⋅ lg E − 0,042 ⋅ (lg E ) 2 + 0,029 ⋅ (lg E )3 ;


- для ион ов сурь мы
                  lg RP = 0,597 + 0,606 ⋅ lg E − 0,0767 ⋅ (lg E ) 2 + 0,0327 ⋅ (lg E ) 3 ;
                 lg ∆R = 0,104 + 0,4905 ⋅ lg E + 0,0103 ⋅ (lg E ) 2 + 0,0124 ⋅ (lg E )3 ;
                      p

                  lg ∆R⊥ = −0,047 + 0,629 ⋅ lg E − 0,096 ⋅ (lg E ) 2 + 0,032 ⋅ (lg E )3 .


    Здесь э н ергия задается в к илоэ лек трон воль тах, а зн ачен ия н ормаль н ы х
пробегов и средн ек вадратичн ы х отк лон ен ий получаю тся в н ан ометрах.

Страницы