ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
13
Рис. 2. Распределение ионно- имплантированной примеси в
разориентированной кристаллической мишени с учетом эффекта
каналирования
Анализ аппроксимирующего распределения (6) показывает , что доза
имплантации Q', определяемая несобственным интегралом
∫
∞
′
=
′
0
,)( dxxNQ
будет больше исходной дозы имплантации Q .
Для устранения этого недостатка можно провести нормировку
распределения (6) на дозу имплантации. В этом случае, определив
нормирующий коэффициент S = Q/Q', необходимо умножить все значения
концентрации N ′ (x) на S , т.е.
N''(x)=SN'(x).
Таблица 1
Значения параметров λ и F
*
для кремниевых подложек
Тип примеси
Доза, см
-2
бор
λ=0.045 мкм
фосфор
λ=0.067 мкм
<
10
13
2.0 5
10
13
2.3 17
5
10
13
⋅
2.6 40
10
14
6.0 44
5
10
14
⋅
10.2 51
10
15
12.5 55
5
10
15
⋅
13.0 62
10
16
14.3 71
5
10
16
⋅
21.0 150
Экспоненциальный
“
хвост
”
N'(R
0
)
N'(R
m
)
13 N'(Rm) Э кспоненциаль ны й N'(R0) “хвост” Рис. 2. Распределение ионно-имплантированной примеси в разориентированной кристаллической мишени с у четом эф ф екта каналирования А нализ аппроксимиру ю щ его распределения (6) показы вает, что доза имплантации Q', определяемая несобственны м интегралом ∞ Q ′ = ∫ N ′( x)dx , 0 бу детболь шеисходной дозы имплантации Q. Д ля у странения этого недостатка мож но провести нормировку распределения (6) на дозу имплантации. В этом слу чае, определив нормиру ю щ ий коэф ф ициент S=Q/Q', необходимо у множ ить все значения концентрации N′(x) наS, т.е. N''(x)=SN'(x). Т аблица1 Значения параметровλ и F для кремниевы х подлож ек * Т ип примеси Д оза, см-2 бор ф осф ор λ=0.045 мкм λ=0.067 мкм < 1013 2.0 5 1013 2.3 17 5 ⋅1013 2.6 40 1014 6.0 44 5 ⋅1014 10.2 51 1015 12.5 55 5 ⋅1015 13.0 62 1016 14.3 71 5 ⋅1016 21.0 150
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 11
- 12
- 13
- 14
- 15
- …
- следующая ›
- последняя »