Диффузионное перераспределение ионно-имплантированных примесей. Быкадорова Г.В - 13 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

13
Рис. 2. Распределение ионно- имплантированной примеси в
разориентированной кристаллической мишени с учетом эффекта
каналирования
Анализ аппроксимирующего распределения (6) показывает , что доза
имплантации Q', определяемая несобственным интегралом
∫
∞
′
=
′
0
,)( dxxNQ
будет больше исходной дозы имплантации Q .
Для устранения этого недостатка можно провести нормировку
распределения (6) на дозу имплантации. В этом случае, определив
нормирующий коэффициент S = Q/Q', необходимо умножить все значения
концентрации N ′ (x) на S , т.е.
N''(x)=SN'(x).
Таблица 1
Значения параметров λ и F
*
для кремниевых подложек
Тип примеси
Доза, см
-2
бор
λ=0.045 мкм
фосфор
λ=0.067 мкм
<
10
13
2.0 5
10
13
2.3 17
5
10
13
⋅
2.6 40
10
14
6.0 44
10
14
⋅
10.2 51
10
15
12.5 55
5
10
15
⋅
13.0 62
10
16
14.3 71
5
10
16
⋅
21.0 150
Экспоненциальный
“
хвост
”
N'(R
0
)
N'(R
m
)
                                              13


           N'(Rm)
                                                   Э кспоненциаль ны й
            N'(R0)                                 “хвост”




    Рис. 2. Распределение ионно-имплантированной примеси в
    разориентированной кристаллической мишени с у четом эф ф екта
    каналирования

     А нализ аппроксимиру ю щ его распределения (6) показы вает, что доза
имплантации Q', определяемая несобственны м интегралом
                                          ∞
                                 Q ′ = ∫ N ′( x)dx ,
                                          0

бу детболь шеисходной дозы имплантации Q.
      Д ля у странения этого недостатка мож но провести нормировку
распределения (6) на дозу имплантации. В этом слу чае, определив
нормиру ю щ ий коэф ф ициент S=Q/Q', необходимо у множ ить все значения
концентрации N′(x) наS, т.е.

                                N''(x)=SN'(x).

                                                                               Т аблица1
          Значения параметровλ и F для кремниевы х подлож ек
                                      *



                                                   Т ип примеси
       Д оза, см-2                бор                                  ф осф ор
                              λ=0.045 мкм                            λ=0.067 мкм
          < 1013                2.0                                       5
            1013                2.3                                      17
         5 ⋅1013                2.6                                      40
            1014                6.0                                      44
         5 ⋅1014               10.2                                      51
            1015               12.5                                      55
         5 ⋅1015               13.0                                      62
            1016               14.3                                      71
         5 ⋅1016               21.0                                      150

Страницы