Диффузионное перераспределение ионно-имплантированных примесей. Быкадорова Г.В - 15 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

15
Для определения координаты точки сопряжения R
0
может быть
использован следующий алгоритм . Первоначально рассчитывается
исходный концентрационный профиль N
i
(x
i
) в приближении четырех
параметров без учета эффекта каналирования . Максимальная глубина
x
max
принимается равной
tDRRx
pp
3)(4
max
+++= λ .
При 20 интервалах расчета шаг по глубине принимается равным
h=x
max
/20, тогда x
i
= i ⋅ h , где i =0,1,2,… ,20.
На полученном профиле определяется максимальное значение
концентрации N(R
m
) и соответствующий модальный пробег R
m
, с учетом
которых из трансцендентного уравнения
*
)(
)(
0
F
RN
RN
m
=
методом простых итераций находится концентрация N(R
0
) и точка R
0
.
Поскольку концентрация ионно - имплантированного бора не
превышает величины N
m
:
318
6
12
108.6
1033.714.32
1025.620
2
−
−
⋅≈
⋅⋅⋅
⋅⋅
=
∆
= см
R
Q
N
p
m
π
,
а температура диффузионной разгонки равна выше 900 ºС , что можно
воспользоваться собственным коэффициентом диффузии бора в
кремнии и рассчитать его по формуле Аррениуса с частотным фактором
и энергией активации:
D
0
=2.5 см
2
/(В ⋅с );
ΔE=3.51 эВ .
При нахождении концентрационного профиля после
диффузионной разгонки несобственный интеграл может быть вычислен
методом Гаусса с увеличивающейся верхней границей .
Для решения данной задачи составлена программа PR2, которая
написана на Паскале и приводится ниже.
Program PR2;
constpi=3.1416; k=8.62e-5;
var x, n: array[0..20] of real;
ni, rp, drp, g, beta, doza, b0, b1, b2, a1 : real;
l, f, nm, n1, n2, v, t1, t2, xj1, xj2, xmax: real;
temp, time, rm, r0, nrm, nr0, h, dt : real;
y, y1, int1, int2 : real;
i: integer; o: char; t: text;
function db (z: real):real; 
                                              15
      Д ля определения координаты точки сопряж ения R0 мож ет бы ть
исполь зован следу ю щ ий алгоритм. Первоначаль но рассчиты вается
исходны й концентрационны й проф иль Ni(xi) вприближ ении четы рех
параметров без у чета эф ф екта каналирования. М аксималь ная глу бина
xmax принимается равной

                            x max = R p + 4( R p + λ ) + 3 D t .

     При 20 интервалах расчета шаг по глу бине принимается равны м
h=xmax/20, тогдаxi=i⋅h, гдеi=0,1,2,… ,20.
     Н а полу ченном проф иле определяется максималь ное значение
концентрации N(Rm) и соответствую щ ий модаль ны й пробег Rm, с у четом
которы х из трансцендентного у равнения

                                              N ( Rm )
                                 N ( R0 ) =
                                               F*

методом просты х итераций находится концентрация N(R0) и точкаR0.
    Посколь ку концентрация ионно-имплантированного бора не
превы шаетвеличины Nm:
                          Q            20 ⋅ 6.25 ⋅ 1012                         −3
                  Nm =           =                        −6
                                                             ≈ 6.8 ⋅ 1018 с м        ,
                         2π ∆R p     2 ⋅ 3.14 ⋅ 7.33 ⋅ 10

а температу ра диф ф у зионной разгонки равна вы ше 900 ºС , что мож но
восполь зовать ся собственны м коэф ф ициентом диф ф у зии бора в
кремнии и рассчитать его по ф орму леА ррениу сас частотны м ф актором
и энергией активации:
                  D0=2.5 с м 2/(В ⋅с );
                  ΔE=3.51 эВ .

     При      нахож дении    концентрационного      проф иля     после
диф ф у зионной разгонки несобственны й интеграл мож етбы ть вы числен
методом Гау ссас у величиваю щ ейся верхней границей.
     Д ля решения данной задачи составлена программа PR2, которая
написананаПаскалеи приводится ниж е.

   Program PR2;
     constpi=3.1416; k=8.62e-5;
     var x, n: array[0..20] of real;
         ni, rp, drp, g, beta, doza, b0, b1, b2, a1 : real;
         l, f, nm, n1, n2, v, t1, t2, xj1, xj2, xmax: real;
         temp, time, rm, r0, nrm, nr0, h, dt : real;
         y, y1, int1, int2 : real;
         i: integer; o: char; t: text;
     function db (z: real):real;

Страницы