Диффузионное перераспределение ионно-имплантированных примесей. Быкадорова Г.В - 17 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

17
beta:=3.28
*
g
*
g+0.39
*
g+3.08;
a1:=10.0
*
beta-12.0
*
g
*
g-18.0; b0:= -(4.0
*
beta-3.0
*
g
*
g)/a1;
b1:= -g
*
(beta+3.0)/a1; b2:= -(2.0
*
beta-3.0
*
g
*
g-6.0)/a1;
xmax:=rp+8
*
drp+1+3
*
sqrt(dt); h:=xmax/20.0;
v:=rp; n1:=gauss8(ph, 0.0, v);
repeat
nm:=n1; n1:=gauss8(ph, 0.0, v);
until abs((nm-n1)/nm)<=0.001;
nm:=doza/nm;
for i:=0 to 20 do begin x[i]:=i
*
h; n[i]:=nm*ph(x[i]) end;
nrm:=n[0];
for i:=0 to 20 do if nrm<n[i] then begin
nrm:=n[i]; rm:=x[i] end;
v:=nrm/f; t1:=rm; t2:=2
*
rm;
repeat
r0:=(t2+t1)/2; nr0:=nm
*
ph(r0);
if v>nr0 then t2:=r0 else t1:=r0
until abs((nr0-v)/ (nr0+v))<0.001;
n1:=0.5/sqrt(pi
*
dt); n2:=ph(r0);
for i:=0 to 20 do begin y:=rp;
int1:= gauss8(fn1, 0.0, y);
repeat
y1:=y; y:=y+1.0e-6;
if y1<=r0 then int2:=gauss8(fn1,y1, y); else int2:=gauss8(fn2,y1, y);
int1:=int1+int2;
until abs(int2/int1)<=0.001;
n[i]:=n1
*
nm
*
int1-ni end;
if nrm>ni then begin xj1:= -1.0; xj2:=0.0;
for i:=1 to 20 do begin
if ((n[i-1]<=0.0) and (n[i]>=0.0)) then xj1:=(x[i-1]+x[i])/2.0;
if ((n[i-1]>=0.0) and (n[i]<=0.0)) then xj2:=(x[i-1]+x[i])/2.0;
end; end; writeln (‘ ’);
writeln (‘ Таблица распределения примеси ’);
writeln (‘ ’); writeln (‘x, мкмN, см -3 log|N| ‘);
writeln (‘ ’);
for i:=0 to 20 do
writeln (x[i]
*
1.0e4:18:2, ‘‘ n[i]:9, ln(abs(n[i]))/2.3:15:2); writeln (‘ ’);
if nrm>ni then if nrm>ni then
writeln (‘Один p-n переход на глубине’, xj2
*
1e4:5:2,’мкм’);
else begin write (‘Два p-n перехода на глубинах’);
writeln(xj1
*
1e4:5:2,’мкм и’, xj2
*
1e4:5:2,’мкм’) end;
writeln (‘ ’);
End.
При решении поставленной задачи по данной программе были
получены следующие результаты и построен график (рис.3). 
                                      17
       beta:=3.28*g*g+0.39*g+3.08;
       a1:=10.0*beta-12.0*g*g-18.0; b0:= -(4.0*beta-3.0*g*g)/a1;
       b1:= -g*(beta+3.0)/a1; b2:= -(2.0*beta-3.0*g*g-6.0)/a1;
       xmax:=rp+8*drp+1+3*sqrt(dt); h:=xmax/20.0;
       v:=rp; n1:=gauss8(ph, 0.0, v);
       repeat
          nm:=n1; n1:=gauss8(ph, 0.0, v);
       until abs((nm-n1)/nm)<=0.001;
       nm:=doza/nm;
       for i:=0 to 20 do begin x[i]:=i*h; n[i]:=nm*ph(x[i]) end;
       nrm:=n[0];
       for i:=0 to 20 do if nrmnr0 then t2:=r0 else t1:=r0
       until abs((nr0-v)/ (nr0+v))<0.001;
       n1:=0.5/sqrt(pi*dt); n2:=ph(r0);
       for i:=0 to 20 do begin y:=rp;
       int1:= gauss8(fn1, 0.0, y);
       repeat
           y1:=y; y:=y+1.0e-6;
   if y1<=r0 then int2:=gauss8(fn1,y1, y); else int2:=gauss8(fn2,y1, y);
           int1:=int1+int2;
       until abs(int2/int1)<=0.001;
       n[i]:=n1*nm*int1-ni end;
       if nrm>ni then begin xj1:= -1.0; xj2:=0.0;
           for i:=1 to 20 do begin
           if ((n[i-1]<=0.0) and (n[i]>=0.0)) then xj1:=(x[i-1]+x[i])/2.0;
           if ((n[i-1]>=0.0) and (n[i]<=0.0)) then xj2:=(x[i-1]+x[i])/2.0;
           end; end; writeln (‘ ’);
   writeln (‘            Т аблицараспределения примеси ’);
   writeln (‘ ’); writeln (‘x, мкмN, см-3        log|N| ‘);
   writeln (‘ ’);
   for i:=0 to 20 do
   writeln (x[i]*1.0e4:18:2, ‘‘ n[i]:9, ln(abs(n[i]))/2.3:15:2); writeln (‘ ’);
   if nrm>ni then if nrm>ni then
   writeln (‘О дин p-n переход наглу бине’, xj2*1e4:5:2,’мкм’);
   else begin write (‘Д ваp-n переходанаглу бинах’);
   writeln(xj1*1e4:5:2,’мкм и’, xj2*1e4:5:2,’мкм’) end;
   writeln (‘ ’);
   End.

   При решении поставленной задачи по данной программе бы ли
полу чены следу ю щ иерезу ль таты и построен граф ик (рис.3).

Страницы