Диффузионное перераспределение ионно-имплантированных примесей. Быкадорова Г.В - 18 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

18
ТАБЛИЦА РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСИ
x, мкм N, см
-3
logN
0.00
0.06
0.13
0.19
0.25
0.31
0.38
0.44
0.50
0.56
0.63
0.69
0.75
0.81
0.88
0.94
1.00
1.06
1.13
1.19
1.25
1.21E+018
1.39E+018
1.85E+018
2.43E+018
2.89E+018
3.03E+018
2.76E+018
2.19E+018
1.50E+018
8.94E+017
4.62E+017
2.08E+017
8.18E+016
2.81E+016
8.37E+015
1.95E+015
7.60E+013
-4.29E+014
-5.58E+014
-5.90E+014
-5.97E+014
18.10
18.16
18.29
18.41
18.48
18.50
18.46
18.36
18.20
17.97
17.68
17.34
16.93
16.47
15.94
15.31
13.90
14.65
14.76
14.79
14.79
один p-n переход на глубине 1.03 мкм.
N, см -3
1.00E+14
1.00E+15
1.00E+16
1.00E+17
1.00E+18
1.00E+19
00.20.40.60.811.21.4
x, мкм
Рис.3. Распределение ионно- имплантированного бора (Е=100 кэВ ,
Q=20 мкКл/см
2
) после диффузионной разгонки при температуре 1000 °С
в течение 1 часа в подложке марки КДБ7.5 
                                                18

                         Т А БЛ И Ц А РА СПРЕ Д Е Л Е Н И Я ПРИ М Е СИ

         x, м км                        N, с м -3                    logN
          0.00                        1.21E+018                        18.10
          0.06                        1.39E+018                        18.16
          0.13                        1.85E+018                        18.29
          0.19                        2.43E+018                        18.41
          0.25                        2.89E+018                        18.48
          0.31                        3.03E+018                        18.50
          0.38                        2.76E+018                        18.46
          0.44                        2.19E+018                        18.36
          0.50                        1.50E+018                        18.20
          0.56                        8.94E+017                        17.97
          0.63                        4.62E+017                        17.68
          0.69                        2.08E+017                        17.34
          0.75                        8.18E+016                        16.93
          0.81                        2.81E+016                        16.47
          0.88                        8.37E+015                        15.94
          0.94                        1.95E+015                        15.31
          1.00                        7.60E+013                        13.90
          1.06                       -4.29E+014                        14.65
          1.13                       -5.58E+014                        14.76
          1.19                       -5.90E+014                        14.79
          1.25                       -5.97E+014                        14.79

                   один p-n переход наглу бине1.03 мкм.

             N, с м -3

           1.00E+19

           1.00E+18

           1.00E+17

           1.00E+16

           1.00E+15

           1.00E+14
                         0    0.2   0.4   0.6        0.8   1   1.2     1.4
                                                                x, м км


Рис.3. Распределение ионно-имплантированного бора (Е =100 кэВ ,
Q=20 мкК л/см2) последиф ф у зионной разгонки при температу ре1000 °С
втечение1 часавподлож кемарки К Д Б7.5

Страницы