Диффузионное перераспределение ионно-имплантированных примесей. Быкадорова Г.В - 16 стр.

                                 16
begin db:=2.5*exp(-3.51/(k*z)) end;
function ph (z:real) : real;
var z1;z2;z3:real;
begin
z :=(z-rp)/drp; z1:=sqrt(abs(4.0*b0*b2-b1*b1));
z2:=0,5/b2*ln(abs(b2*z*z+b1*z+b0));
z3:=b1*(1.0/b2+2.0)/z1*arctan((2.0*b2*z+b1)/z1);
ph:=exp(z2-z3) end;
function fn1(s:real):real;
vars1, s2, s3: real;
begin
s3 :=s; s1 :=(s-x[i])/4/dt*(s-x[i]);
s2 :=(s+x[i])/4/dt*(s+x[i]);
fn1:=ph(s3)*(exp(-s1)+exp(-s2)) end;
function fn2(s:real):real;
vars1, s2: real;
begin
s1 :=(s-x[i])/4/dt*(s-x[i]); s2 :=(s+x[i])/4/dt*(s+x[i]);
fn2:=n2*exp(-(s-r0)/1)*(exp(-s1)+ exp(-s2)) end;
function gauss8(function fi1(z:real) : real; a, b : real;) : real;
{интегрированиеметодом Гау сса}
var xi, ai : array[1..8] of real; b11, b22, gs, x2 : real;
j : integer;
begin
ai[1] := 0.10122854; ai[2] := 0.22238103;
ai[3] := 0.31370664; ai[4] := 0.36268378;
xi[5] := 0.18343364; xi[6] := 0.52553241;
xi[7] := 0.79666648; xi[8] := 0.96028985;
for j:=5 to 8 do begin
   xi[9-i] := -xi[j]; ai[j] :=ai[9-j] end;
b11:=(b+a)/2; b22:=(b-a)/2; gs:=0.0;
for j:=1 to 8 do begin
x2:=b11+b22*xi[j]; gs:=gs+ai[j]*fi1(x2) end;
gauss8 := gs*b22 end;
Begin
     ni := 6.0e14; {концентрация исх. примеси всм-3}
     rp := 2.964e-5; {нормаль ны й пробег всм}
     drp:=7.33e-6; {среднекв. отклонениевсм}
     g:= -1.26; {коэф ф ициентасимметрии}
     doza:= 1.25e14; {дозаимплантации всм-2}
     l:=4.5e-6; {характеристическая длинаэксп. “хвоста” всм}
     f:=10.2; {параметр F}
     temp:=1000.0; {температу радиф ф у з. разгонки}
     temp:=temp+273.0;
     time:=3600.0; {время диф ф у з. разгонки }
     dt:=db(temp)*time;