Диффузионное перераспределение ионно-имплантированных примесей. Быкадорова Г.В - 22 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

22
диффузии фосфора рассчитывается по закону Аррениуса с частотным
множителем 1.2⋅10
-3
см
2
/с и энергией активации 2.5 эВ .
Исходная концентрация примеси в кремниевой подложке марки
КДБ20 оценивается по удельному сопротивлению 20 Ом⋅см при
подвижности основных носителей дырок 500 см
2
/(В ⋅с ).
Ni
1
1.610
19−
⋅ A⋅ sec⋅ 20⋅ ohm⋅ cm⋅ 500⋅
cm
2
Vsec⋅
⋅
:=
Q6.2510
13
⋅ cm
2−
⋅:=
t3600sec⋅:=
D1.210
3−
⋅
cm
2
sec
⋅ e
2.5−
8.6210
5−
⋅ K
1−
⋅ 1273⋅ K⋅
⋅:=
Rp2.96410
5−
⋅ cm⋅:=∆Rp7.310
6−
⋅ cm⋅:=
x0cm⋅ 510
6−
⋅ cm⋅, 610
4−
⋅ cm⋅..:=
Nx()2.75110
18
⋅ cm
2−
⋅ e
xRp−()
2
−
2∆Rp
2
Dt⋅+
()
⋅
⋅:=
xj1Rp2∆Rp
2
2D⋅ t⋅+
()
⋅ln
Q
π 2 ∆Rp
2
⋅ Dt⋅+⋅ Ni⋅
⋅+:=
xj11.63
10
×=
xj2Rp2∆Rp
2
2D⋅ t⋅+
()
⋅ln
Q
π 2 ∆Rp
2
⋅ Dt⋅+⋅ Ni⋅
⋅−:=
xj21.037−×=
05
.
10
7
1
.
10
6
1.5
.
10
6
1
.
10
18
1
.
10
19
1
.
10
20
1
.
10
21
1
.
10
22
1
.
10
23
1
.
10
24
Nx()
Ni
x
m
3−
m
Рис.1. Распределение ионно- имплантированного фосфора
( Е =50 кэВ , Q=10 мкКл/см
2
) после диффузионной разгонки
при температуре 1000 °С в течение 30 минут в подложке
марки КДБ20 
                                                                           22
диф ф у зии ф осф ора рассчиты вается по закону А ррениу са с частотны м
множ ителем 1.2⋅10-3 с м 2/с и энергией активации 2.5 эВ .
     И сходная концентрация примеси вкремниевой подлож ке марки
К Д Б20 оценивается по у дель ному сопротивлению 20 О м ⋅с м при
подвиж ности основны х носителей ды рок 500 с м 2/(В ⋅с ).

                                                                      1
                 Ni :=                                                                                                                13     −2
                                                                                                             2        Q := 6.25 ⋅ 10 ⋅ cm
                                 − 19                                                                  cm
                         1.6 ⋅ 10          ⋅ A ⋅ sec ⋅ 20 ⋅ ohm ⋅ cm ⋅ 500 ⋅
                                                                                                     V ⋅ sec

                                                                                − 2.5
                                                         2
                                          −3       cm                8.62⋅10
                                                                               −5    −1
                                                                                    ⋅K ⋅1273⋅K          t := 3600 ⋅ sec
                     D := 1.2 ⋅ 10             ⋅             ⋅e
                                                    sec
                                             −5                                                                  −6
                   Rp := 2.964 ⋅ 10                 ⋅ cm                                 ∆Rp := 7.3 ⋅ 10              ⋅ cm
                                               −6                           −4
                   x := 0 ⋅ cm, 5 ⋅ 10                  ⋅ cm.. 6 ⋅ 10               ⋅ cm
                                                                                             2
                                                                            − ( x− Rp )

                    N( x) := 2.751 ⋅ 10 ⋅ cm
                                                   18            −2
                                                                      ⋅e
                                                                            (        2
                                                                           2⋅ ∆Rp + D⋅ t         )


                             (
           xj1 := Rp + 2 ⋅ ∆Rp + 2 ⋅ D ⋅ t ⋅ ln
                                      2
                                                                 )        
                                                                                      Q              
                                                                                                     
                                                                                       2
                                                                           π ⋅ 2 ⋅ ∆Rp + D ⋅ t ⋅ Ni                                 xj1 = 1.63 × 10



                             (
           xj2 := Rp − 2 ⋅ ∆Rp + 2 ⋅ D ⋅ t ⋅ ln
                                      2
                                                                 )      
                                                                                    Q              
                                                                                                                                     xj2 = −1.037 ×
                                                                                     2
                                                                         π ⋅ 2 ⋅ ∆Rp + D ⋅ t ⋅ Ni 


                                            1 .10
                                                    24




                                            1 .10
                                                    23




                                            1 .10
                                                    22


                                    N( x)
                                            1 .10
                                                    21
                                    Ni


                                         − 3 1 .10
                                                    20
                                    m

                                            1 .10
                                                    19




                                            1 .10
                                                    18

                                                                                5 .10                1 .10              1.5 .10
                                                                                         7                   6                    6
                                                             0
                                                                                                         x       m

      Рис.1. Распределение ионно-имплантированного ф осф ора
      (Е =50 кэВ , Q=10 мкК л/см2) после диф ф у зионной разгонки
      при температу ре 1000 °С втечение 30 мину т вподлож ке
      марки К Д Б20

Страницы