Диффузионное перераспределение ионно-имплантированных примесей. Быкадорова Г.В - 24 стр.

UptoLike

24
2. При каких условиях в процессе имплантации примесью
противоположного типа по отношению к типу исходной примеси в
подложке не формируются p-n переходы ?
3. Возможно ли образование двух p-n переходов при диффузионной
разгонке ионно - имплантированного слоя, если граница является
отражающей ? При каких условиях образуется один p-n переход?
                                  24
2. При каких у словиях в процессе имплантации примесь ю
   противополож ного типа по отношению к типу исходной примеси в
   подлож кенеф ормиру ю тся p-n переходы ?
3. В озмож но ли образование двух p-n переходов при диф ф у зионной
   разгонке ионно-имплантированного слоя, если граница является
   отраж аю щ ей? При каких у словиях образу ется один p-n переход?