Триботехническое материаловедение и триботехнология. Денисова Н.Е - 126 стр.

     4.3 Физические методы исследования структуры,
         фазового и элементного состава материалов

      Как правило, для исследования поверхности в качестве
аналитических      инструментов       диагностирования       используются
энергетические потоки. Уже в конце ХХ века было известно более 80
подобных методов диагностики вещества, и список их продолжает
увеличиваться. Эти методы отличаются видом первичного потока
(зондирующего воздействия), чувствительностью, локальностью, степенью
деструкции вещества, универсальностью и т.д. Этими вопросами
занимается нанотрибология, которая достаточно успешно в настоящее
время развивается, как за рубежом, так и в нашей стране (см. главу 6).
      Чаще всего методы анализа классифицируются либо по типу
первичного воздействия на образец, либо по типу носителя информации.
Существует 8 основных видов зондирующего воздействия на поверхность
твердого тела: электроны, фотоны, ионы, нейтральные атомы или
молекулы, поверхностные волны, магнитное поле, нагрев, электрическое
поле.
      В результате этих воздействий возникает один или несколько из
четырех видов частиц: электроны, фотоны, ионы, нейтральные атомы или
молекулы. Эти частицы несут информацию о поверхности на
соответствующий детектор. Информация позволяет получать сведения о
природе эмитированных частиц, об их пространственном и энергетическом
распределении, о количестве частиц. Анализируя эти сведения, можно
судить о составе и структуре поверхности. Для устранения подавления
потоков частиц большинство методов анализа, за исключением главным
образом методов рентгенографии, осуществляется в вакууме.
      Рассмотрим некоторые наиболее распространенные методы анализа
поверхности.
      Электронно-зондовые методы. Из четырех видов зондирующих
потоков частиц (электроны, ионы, нейтральные частицы и фотоны)
электронные пучки для исследования поверхностей твердых тел начали
применятся раньше и значительно шире других. Это связано с простотой
получения электронных пучков с заданной энергией плотности, а также с
легкостью фокусировки их в зонд малого диаметра на поверхности.
Электронный луч в современных зондовых устройствах можно
фокусировать до единиц и даже долей нанометра, т.е. до размеров близким
к атомным. На настоящий момент электронно-зондовые методы анализа по
областям применения и распространения преобладают, как в научных
исследования, так и в современных производственных лабораториях.