Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 13 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

13
энергетического или химического состояния (табл. 1.3.1). В силу того,
что энергия электронов существенно превышает энергию тяжелых
частиц, именно эти процессы количественно определяют скорости
диссоциации, ионизации и электронного возбуждения, которые име-
ют высокие пороговые энергии.
Таблица 1.3.1
Типы элементарных процессов
Реакция Схема
1. Передача импульса
AB + e(p
1
) → AB + e(p
2
)
2. Возбуждение
AB + e → AB
*
+ e
3. Диссоциативное прилипание
AB + e → A
-
+ B
Образование ионной пары
AB + e → A
-
+ B
+
+ e
4. Отлипание
A
-
+ e → A + 2e
5. Диссоциация
AB + e → A + B + e
6. Ионизация
AB + e → AB
+
+ 2e
7. Диссоциативная ионизация
AB + e → A
+
+ B + 2e
Соударения электронов с молекулами газа делятся на упругие и
неупругие. При упругих соударениях происходит перераспределение
кинетической энергии взаимодействующих частиц без изменения их
внутренней энергии (процесс 1, табл. 1.3.1). Максимальная доля энер-
гии, передаваемой при упругом соударении, пропорциональна отно-
шению масс сталкивающихся частиц
M
m
X
e
2=
, (1.11)
где
e
m - масса электрона; М - масса молекулы газа. Данное выраже-
ние строго справедливо если молекула газа неподвижна. Если энерги-
ей молекул газа пренебречь нельзя по сравнению с энергией электро-
нов, то выражение для Х принимает вид:
−=
ε
ε
g
e
M
m
X 12 , (1.12)
где
ε
и
g
ε
- энергии электрона и «тяжелой» частицы, соответственно.
При неупругих столкновениях столкновение электронов с ато-
энергетического или химического состояния (табл. 1.3.1). В силу того,
что энергия электронов существенно превышает энергию тяжелых
частиц, именно эти процессы количественно определяют скорости
диссоциации, ионизации и электронного возбуждения, которые име-
ют высокие пороговые энергии.

                                                               Таблица 1.3.1
                   Типы элементарных процессов
Реакция                                           Схема
1.   Передача импульса                            AB + e(p1) → AB + e(p2)
2.   Возбуждение                                  AB + e → AB* + e
3.   Диссоциативное прилипание                    AB + e → A- + B
     Образование ионной пары                      AB + e → A- + B+ + e
4.   Отлипание                                    A- + e → A + 2e
5.   Диссоциация                                  AB + e → A + B + e
6.   Ионизация                                    AB + e → AB+ + 2e
7.   Диссоциативная ионизация                     AB + e → A+ + B + 2e

     Соударения электронов с молекулами газа делятся на упругие и
неупругие. При упругих соударениях происходит перераспределение
кинетической энергии взаимодействующих частиц без изменения их
внутренней энергии (процесс 1, табл. 1.3.1). Максимальная доля энер-
гии, передаваемой при упругом соударении, пропорциональна отно-
шению масс сталкивающихся частиц

                                  me
                           X =2      ,                                (1.11)
                                  M

где me - масса электрона; М - масса молекулы газа. Данное выраже-
ние строго справедливо если молекула газа неподвижна. Если энерги-
ей молекул газа пренебречь нельзя по сравнению с энергией электро-
нов, то выражение для Х принимает вид:

                               me  ε g    
                        X =2      1 −      ,                       (1.12)
                               M     ε    

где ε и ε g - энергии электрона и «тяжелой» частицы, соответственно.
     При неупругих столкновениях столкновение электронов с ато-

                                  13

Страницы