Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 223 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

223
соединений, приводя тем самым к снижению скорости деструкции
основной цепи полимера.
Таблица 5.2.1
Скорости травления полимеров в плазме кислорода
Полимер Относительная скорость
Полиметилметакрилат
*
2.37
Полиэтилакрилат
+
2.78
Полиизобутилен
*
3.56
Поли-цис-бутадиен
+
2.78
Поли-цис-изопрен 5.55
Поливинилацетат
+
5.46
Полибутен-1 сульфон
*
7.11
Поливинилметилкетон 1.48
Полиэтиленимин
+
1.44
Полиглицидилметакрилат 1.07
Циклизованный цис-полиизопрен 1.24
Полистирол
+
1
Поли-α-метилстирол
*
1.11
Поли 4 –метилстирол 1.24
Полифенилметакрилат
*
1.33
Поли 4 – винилпиридин
+
1.7
Поли N-винилкарбазол 0.59
Поливинилиденфторид 0.83
Поли 4 – бромстирол 1.93
Поли 4 – хлорстирол 2.93
Поливинилбензилхлорид 2.59
Поливинихлорид
+
12.96
Полихлоропрен
+
13.33
Хлорированный полиэтилен (42% Сl) 22.22
Поливинилбромид 13.7
Примечание:
*
- позитивные,
+
- негативные рентгенрезисты. Скорость
травления полистирола 27 нм/мин. Температура 308 К. ВЧ-разряд.
Мощность 100 Вт. Давление О
2
- 73 Па.
Процесс потерь массы имеет кажущуюся энергию активации, то
есть скорость травления увеличивается с ростом температуры. Энергии
активации зависят от внешних параметров плазмы, также от вида и
структуры полимера. Типичные значения энергии активации
составляют 15 - 60 кДж/ моль. 
соединений, приводя тем самым к снижению скорости деструкции
основной цепи полимера.

                                                     Таблица 5.2.1
         Скорости травления полимеров в плазме кислорода
             Полимер                   Относительная скорость
Полиметилметакрилат*                           2.37
                   +
Полиэтилакрилат                                2.78
                 *
Полиизобутилен                                 3.56
                     +
Поли-цис-бутадиен                              2.78
Поли-цис-изопрен                               5.55
                   +
Поливинилацетат                                5.46
                         *
Полибутен-1 сульфон                            7.11
Поливинилметилкетон                            1.48
                  +
Полиэтиленимин                                 1.44
Полиглицидилметакрилат                         1.07
Циклизованный цис-полиизопрен                  1.24
           +
Полистирол                                       1
                       *
Поли-α-метилстирол                             1.11
Поли 4 –метилстирол                            1.24
                           *
Полифенилметакрилат                            1.33
                             +
Поли 4 – винилпиридин                           1.7
Поли N-винилкарбазол                           0.59
Поливинилиденфторид                            0.83
Поли 4 – бромстирол                            1.93
Поли 4 – хлорстирол                            2.93
Поливинилбензилхлорид                          2.59
                  +
Поливинихлорид                                 12.96
               +
Полихлоропрен                                  13.33
Хлорированный полиэтилен (42% Сl)              22.22
Поливинилбромид                                13.7
             *                 +
Примечание: - позитивные, - негативные рентгенрезисты. Скорость
травления полистирола 27 нм/мин. Температура 308 К. ВЧ-разряд.
Мощность 100 Вт. Давление О2 - 73 Па.

    Процесс потерь массы имеет кажущуюся энергию активации, то
есть скорость травления увеличивается с ростом температуры. Энергии
активации зависят от внешних параметров плазмы, также от вида и
структуры полимера. Типичные значения энергии активации
составляют 15 - 60 кДж/ моль.


                               223

Страницы