Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 226 стр.

процесса. Чем она выше, тем больше максимум смещен в сторону
низких давлений. Следовательно, при уменьшении давления более
эффективны процессы, требующие относительно высоких затрат
энергии, например, ионизация, возбуждение излучающих состояний,
переходы с которых дают ультрафиолетовое излучение (рис. 5.2.4 и
5.2.5).
         Г х 10-14 см-2с -1                                W, см -3 с-1                -1
 8                                          -1
                                            -2                                         -2
 7                                          -3
                                            -4
 6                                          -5             1017
                                            -6
 5

 4

 3

 2

 1
     0         50       100    150    200    250   300            0       133   266           399
                              P, Па                                                   P, Па
Рис. 5.2.4. Плотность потока                               Рис. 5.2.5. Скорость диссоциации
положительных ионов на стенку                              молекул О2 в плазме кислорода
реактора,       пропорциональная                           при токах разряда 1 - 40 мА, 2 - 20
скорости ионизации, в плазме                               мА. Пороговая энергия 5.1 эВ
кислорода. Пороговая энергия
ионизации 12.1 эВ. Точки 1, 2, 3,
4, 5 соответствуют токам 120, 80,
60 и 40 мА. 5-6 - расчет для токов
80 и 60 мА

      В условиях низких давлений механизм образования и гибели
атомов кислорода относительно простой – диссоциация молекул О2
электронным ударом, а гибель атомов происходит на стенках реактора
(гетерогенная гибель), куда атомы попадают в результате диффузии.
Поэтому в стационарных условиях скорость диссоциации есть и
скорость гетерогенной гибели атомов пропорциональная их потоку на
обрабатываемый материал. Поэтому можно ожидать, что зависимости
скоростей травления от параметров плазмы должны быть подобны
таким же зависимостям скорости диссоциации. Поскольку в плазме
есть и другие агенты, способные травить, разрушать полимер, то
данное заключение будет справедливо только для определенного
интервала параметров плазмы, то есть там, где поток атомов является
доминирующим по сравнению с потоками других частиц. За
исключением некоторых деталей, на опыте действительно

                                                         226