Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 227 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

227
наблюдаются подобные закономерности. На рис. 5.2.6 показаны
скорости образования газообразных продуктов при травлении
полиимида, широко применяемого в качестве планаризирующего слоя
и для гибких подложек гибридных микросхем. Скорость травления
практически пропорциональна скорости образования молекул СО
2
.
50 100 150 200
0
5
10
15
P, Па
W,10
15
см
-2
с
-1
1
2
3
4
5
a
20 40 60 80 100 120
0
2
4
6
8
1
2
3
4 x10
5
W,10
15
см
-2
с
-1
I, мА
б
Рис. 5.2.6. Скорость расходования кислорода (1) и образования
газообразных продуктов СО
2
(2), Н
2
О(3), Н
2
(4), СО(5) при действии
плазмы кислорода на ПИ. а – ток 80 мА, б – давление 100 Па.
Температура ПИ 357 К
5.3. Плазменная модификация поверхности полимерных
материалов
Некоторые полимерные материалы, например фторполимеры,
обладают высокой химической инертностью, термической стойкостью,
высокими диэлектрическими свойствами, однако имеют очень низкую
поверхностную энергию, что приводит к низкой адгезионной
способности таких поверхностей при нанесении органических и
неорганических покрытий. В ряде случаев обработка в
низкотемпературной плазме позволяет модифицировать свойства
поверхности (и тонкого приповерхностного слоя) полимера без
изменения объемных свойств материала в целом. Этот процесс получил
название плазменной модификации и реализуется он в трех основных
направлениях: 1) активация поверхности, 2) функциализация
поверхности, 3) планаризация поверхности.
Активация поверхности полимера - это изменение ее физико-
химических свойств (химической активности, гидрофильности,
адгезионной способности и др.) при обработке в плазме
неполимеробразующих газов. В качестве таких газов обычно 
наблюдаются подобные закономерности. На рис. 5.2.6 показаны
скорости образования газообразных продуктов при травлении
полиимида, широко применяемого в качестве планаризирующего слоя
и для гибких подложек гибридных микросхем. Скорость травления
практически пропорциональна скорости образования молекул СО2.
      15    -2 -1
W,10 см с                                    15
                                         W,10 см с
                                                   -2 -1

15                                       8
               1          a                       1
               2                                  2             б
               3                                  3
               4                         6        4 x10
10             5                                  5


                                         4

 5
                                         2


 0                                       0
       50           100   150   200          20       40   60       80   100     120
                                 P, Па                                         I, мА
Рис. 5.2.6. Скорость расходования кислорода (1) и образования
газообразных продуктов СО2(2), Н2О(3), Н2(4), СО(5) при действии
плазмы кислорода на ПИ. а – ток 80 мА, б – давление 100 Па.
Температура ПИ 357 К

     5.3. Плазменная модификация поверхности полимерных
                          материалов

     Некоторые полимерные материалы, например фторполимеры,
обладают высокой химической инертностью, термической стойкостью,
высокими диэлектрическими свойствами, однако имеют очень низкую
поверхностную энергию, что приводит к низкой адгезионной
способности таких поверхностей при нанесении органических и
неорганических     покрытий.   В    ряде  случаев    обработка   в
низкотемпературной плазме позволяет модифицировать свойства
поверхности (и тонкого приповерхностного слоя) полимера без
изменения объемных свойств материала в целом. Этот процесс получил
название плазменной модификации и реализуется он в трех основных
направлениях: 1) активация поверхности, 2) функциализация
поверхности, 3) планаризация поверхности.
     Активация поверхности полимера - это изменение ее физико-
химических свойств (химической активности, гидрофильности,
адгезионной способности и др.) при обработке в плазме
неполимеробразующих газов. В качестве таких газов обычно
                                      227

Страницы