Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 242 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

242
тока по напряжению:
()
2
2
dU
Id
constf εε ⋅= . (6.6)
Метод Драйвестейна нашёл практическое воплощение только
после создания радиотехнических методов дифференцирования. Для
получения второй производной зондовое напряжение модулируют
небольшим переменным сигналом, гармоника которого на удвоенной
частоте пропорциональна второй производной зондового тока по
напряжению.
6.3. Масс-спектрометрия
Масс-спектрометрический метод контроля (МС) основан на
разделении ионизованных атомов и молекул в зависимости от
отношения
em
и последующем измерении соответствующих ионных
токов. Величина ионного тока определяет интенсивность пика в масс-
спектре, которая, в свою очередь, пропорциональна концентрации в
плазме регистрируемого компонента с данным значением
em
.
В зависимости от типа регистрируемых частиц данный метод
позволяет получать богатую информацию как о составе активных
частиц плазмы, так и о протекании процесса травления. Контроль
процессов травления с помощью МС базируется на положении
химической кинетики о том, что скорость реакции пропорциональна
либо концентрации реагентов, либо продуктов реакции. Таким образом
характер изменения интенсивностей пиков ХАЧ и продуктов
взаимодействия отражает кинетику процесса, при этом появление в
спектре пика продукта (табл. 6.3.1) указывает на начало травления, а его
исчезновение – на полное удаление слоя подвергаемого травлению
материала.
Таблица 6.3.1
Продукты, характеризующие процесс травления при масс-
спектрометрическом контроле
Плазма Материал Продукт Ион em
CF
4
+O
2
Si, SiO
2
W
Mo
SiF
4
WF
6
MoF
6
SiF
3
+
WF
5
+
MoF
5
+
85
279
193
BCl
3
Al AlCl
3
AlCl
2
+
97
Cl
2
+O
2
Cr CrO
2
Cl
2
CrO
2
Cl
+
119
CCl
2
F
2
Au AuCl
3
AuCl
2
+
267
O
2
фоторезист CO
2
CO
2
+
44 
тока по напряжению:
                                  d 2I
             f (ε ) = const ⋅ ε           .                         (6.6)
                                  dU 2

     Метод Драйвестейна нашёл практическое воплощение только
после создания радиотехнических методов дифференцирования. Для
получения второй производной зондовое напряжение модулируют
небольшим переменным сигналом, гармоника которого на удвоенной
частоте пропорциональна второй производной зондового тока по
напряжению.

                         6.3. Масс-спектрометрия
     Масс-спектрометрический метод контроля (МС) основан на
разделении ионизованных атомов и молекул в зависимости от
отношения m e и последующем измерении соответствующих ионных
токов. Величина ионного тока определяет интенсивность пика в масс-
спектре, которая, в свою очередь, пропорциональна концентрации в
плазме регистрируемого компонента с данным значением m e .
     В зависимости от типа регистрируемых частиц данный метод
позволяет получать богатую информацию как о составе активных
частиц плазмы, так и о протекании процесса травления. Контроль
процессов травления с помощью МС базируется на положении
химической кинетики о том, что скорость реакции пропорциональна
либо концентрации реагентов, либо продуктов реакции. Таким образом
характер изменения интенсивностей пиков ХАЧ и продуктов
взаимодействия отражает кинетику процесса, при этом появление в
спектре пика продукта (табл. 6.3.1) указывает на начало травления, а его
исчезновение – на полное удаление слоя подвергаемого травлению
материала.
                                                     Таблица 6.3.1
      Продукты, характеризующие процесс травления при масс-
                  спектрометрическом контроле
Плазма      Материал      Продукт      Ион           me
CF4+O2        Si, SiO2                   SiF4       SiF3+     85
              W                          WF6        WF5+      279
              Mo                         MoF6       MoF5+     193
BCl3          Al                         AlCl3      AlCl2+    97
Cl2+O2        Cr                         CrO2Cl2    CrO2Cl+   119
CCl2F2        Au                         AuCl3      AuCl2+    267
O2            фоторезист                 CO2        CO2+      44
                                              242

Страницы