Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 245 стр.

спектров с целью получения данных по абсолютным значениям
концентраций частиц и скоростей травления достаточно сложная
процедура. Она требует, как минимум, проведения калибровки всей
системы по всем компонентам, которые подлежат определению, и
заключается в установлении зависимости между парциальным
давлением i-го компонента в реакторе и измеряемым ионным током.
При этом важны ионные токи и осколочных продуктов, так как в
газовой смеси ионные пики разных компонентов могут налагаться. Для
используемых в технологии газов характерен сложный состав
продуктов, некоторые из которых только в разряде и получаются.
Естественно, что прямая калибровка в этом случае невозможна.
Относительную чувствительность к разным газам можно оценить, если
известны сечения ионизации электронным ударом.
     Наличие системы отбора пробы приводит также к тому, что
измеряемый состав может не соответствовать реальному. Особенно это
относится к ХАЧ, концентрации которых претерпевают существенные
изменения за счет реакций как со стенками, так и в газовой фазе по пути
до анализатора.

               6.4. Оптико-спектральные методы

     Оптико-спектральные методы включают группу методов,
основанных на регистрации изучения плазмы, либо на эффектах
взаимодействия с частицами плазмы электромагнитного излучения
видимого и ближнего УФ диапазонов. Привлекательность и широкая
распространенность этих методов обусловлены двумя основными
факторами. Во-первых, эти методы являются невозмущающими, то есть
не требуют введения в плазму зондирующих устройств, организации
систем отбора газа из реакционной зоны и т.д. Это, с одной стороны,
снимает ограничения контактных методов, возникающие при
исследовании химически активной плазмы (коррозия диагностического
оборудования, изменение состояния поверхности зондов и т.д.) и, с
другой стороны, позволяет получать информацию, отражающую
истинные параметры плазмы или процесса. Во-вторых, оптико-
спектральные методы отличаются относительной простотой аппаратной
реализации и хорошо развитой теорией обработки результатов
измерений. Последнее предоставляет возможность контроля не только
за относительными изменениями концентраций частиц и скоростей
процессов, но и за их абсолютными величинами, что в ряде случаев
представляет значительный интерес.


                                 245