Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 34 стр.

     Коэффициент скорости гетерогенной рекомбинации первого
порядка имеет размерность частоты (параметр ν g в уравнении (1.41))
и определяется двумя основными факторами - вероятностью реком-
бинации ( γ ) и температурой газа, влияющей на транспортные коэф-
фициенты частиц (коэффициент диффузии, тепловая скорость). Вели-
чина вероятности рекомбинации зависит от физической природы, со-
стояния и температуры поверхности (через величину ns ) и может ле-
жать в диапазоне 10-2 - 10-5. Рис. 1.4.5 иллюстрирует некоторые экспе-
риментальные данные по вероятности гетерогенной рекомбинации
атомов хлора.




                                                  γCl(quartz, surface treated)
    γCl(stainless steel)




                           Temperature (K)                                       Temperature (K)
                  а)                                   б)
Рис. 1.4.6. Экспериментальные значения вероятности рекомбинации
атомов хлора на поверхности различных материалов: а-нержавеющая
сталь; б-кварц. По данным работы G.P. Kota, J.W. Coburn, D.B. Graves
The recombination of chlorine atoms at surfaces // J. Vac. Sci. Technol. A
16, 1998, p. 270.

     Ярко выраженная температурная зависимость вероятности ре-
комбинации, может быть связана с процессами миграции атомов и
снижением времени пребывания адсорбированных частиц на поверх-
ности. Анализ литературы показывает, что для одинаковой поверхно-
сти вероятность рекомбинации атомов хлора в разряде выше, чем в
области послесвечения из-за активирующего действия плазмы (бом-
бардировка поверхности заряженными, возбужденными частицами и
квантами УФ излучения), а в одинаковых условиях значения вероят-
ности рекомбинации на металлах превышают соответствующие вели-
чины для диэлектрических поверхностей. Рассматривая рекомбина-


                                             34