Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 64 стр.

под активными частицами следует понимать: 1) свободные атомы и
радикалы в основном и возбужденном состояниях, 2) колебательно- и
электронно-возбужденные молекулы, 3) положительные и отрица-
тельные ионы, 4) электроны и кванты собственного УФ излучения
плазмы. В условиях неизотермической плазмы концентрация каждого
сорта активных частиц определяется не термодинамическим равнове-
сием, а стационарным состоянием, возникающим вследствие конку-
ренции различных процессов образования (генерации) и гибели (ре-
комбинации) активных частиц. Характер пространственных распре-
делений концентраций нейтральных и заряженных частиц в реакторе
данной геометрии в данном диапазоне давлений определяется харак-
теристиками их транспорта из объема к стенкам реактора.

                 1.9. Контрольные вопросы

1.  Что такое плазма? Сформулируйте условия существования плаз-
    мы.
2. В чем различие между изотермической и неизотермической плаз-
    мой?
3. В чем причина неравновесности газоразрядной плазмы понижен-
    ного давления?
4. Назовите основные виды процессов под действием электронного
    удара и их кинетические характеристики.
5. В чем отличие между упругими и неупругими соударениями
    электронов с атомами и молекулами?
6. В чем смысл термина «сечение» процесса? Какова связь между
    сечением и коэффициентом скорости химической реакции?
7. Что описывает функция распределения электронов по энергиям?
    Поясните смысл этого понятия.
8. Что такое модельные функции распределения? Назовите факто-
    ры, ограничивающие использование модельных функций распре-
    деления для анализа плазменных систем.
9. Назовите основные механизмы диссоциации молекул в условиях
    низкотемпературной плазмы.
10. Назовите основные механизмы рекомбинации нейтральных и за-
    ряженных частиц. Как меняются вклады различных механизмов
    при изменении давления газа?
11. От каких параметров зависит частота гетерогенной рекомбина-
    ции атомов и радикалов в плазме?
12. Какова связь между подвижностью и коэффициентом диффузии


                               64