Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 62 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

62
Для
1
=
x
ei
T2.5
=
ε
.
Расчеты показывают, что в рамках принятой модели влияние
энергетического распределения электронов на параметры плазмы
проявляется, в основном, через коэффициенты скоростей элементар-
ных процессов. Изменение коэффициентов скоростей, в свою оче-
редь, сказывается как на балансе заряженных частиц, так и на балансе
мощности, вкладываемой в плазму. Несмотря на то, что Максвэллов-
ское распределение имеет более развитую высокоэнергетичную часть,
эффективная температура электронов при
1
=
x
ниже, чем при
2
=
x
(рис. 1.7.4,б). Это связано с тем, что
eff
T определяется средней частью
ФРЭЭ в области энергий 3 – 10 эВ, где Драйвестеновское распределе-
ние дает большее число электронов. Закономерно, что характер изме-
нения
s
V
∆
коррелирует с поведением
eff
T (рис. 1.7.4,в).
а)
б)
в)
г)
Рис. 1.7.4 Влияние энергетического распределения электронов на па-
раметры плазмы
Ar
(
L
= 7.4 см,
= 15.2 см,
W
= 500 Вт)
x
Т
еff
[eV]
ε
c
[V]
Т
еff
[eV]
x
p[mTorr]
V
N
[V]
n
e
x 10
16
[m
-
3
] 
  Для x = 1 ε i = 5.2Te .
        Расчеты показывают, что в рамках принятой модели влияние
  энергетического распределения электронов на параметры плазмы
  проявляется, в основном, через коэффициенты скоростей элементар-
  ных процессов. Изменение коэффициентов скоростей, в свою оче-
  редь, сказывается как на балансе заряженных частиц, так и на балансе
  мощности, вкладываемой в плазму. Несмотря на то, что Максвэллов-
  ское распределение имеет более развитую высокоэнергетичную часть,
  эффективная температура электронов при x = 1 ниже, чем при x = 2
  (рис. 1.7.4,б). Это связано с тем, что Teff определяется средней частью
  ФРЭЭ в области энергий 3 – 10 эВ, где Драйвестеновское распределе-
  ние дает большее число электронов. Закономерно, что характер изме-
  нения ∆Vs коррелирует с поведением Teff (рис. 1.7.4,в).

                                               Теff[eV]
εc[V]




                  Теff[eV]                                 x
  а)                                  б)
                                         ne x 1016[m-3]
        VN[V]




                 x                                        p[mTorr]
  в)                                 г)
  Рис. 1.7.4 Влияние энергетического распределения электронов на па-
  раметры плазмы Ar ( L = 7.4 см, R = 15.2 см, W = 500 Вт)



                                    62

Страницы